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本文介绍了一种新型的自适应双频激光同轴度测量系统,该系统利用两个完全对称的渥拉斯顿棱镜,一个作为测量元件,另一个作为补偿元件,采用比相技术处理测量信号,因而测量元件可以暂时移出光路,能够进行同轴度的测量,系统的光学设计使激光光束的平衡和角漂不影响测量结果,对激光的漂移有自适应性,两束干涉光基本符合共光路原则,因而对大气湍流,空气扰动的影响具有更强的适应性,可用于长距离直线度,同轴度的测量。该系统与 相似文献
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