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两项重要的技术突破代表了溅射工作的发展。这就是:(1)在六十年代后期高频溅射方法的有效发展,似乎极大地扩展了新溅射的导电及非导电材料的范围(1)。(2)高性能磁控管溅射源的新近发展(2)—(12)。磁控管溅射能够具有相当高的沉积率,同一般的溅射相比,大大地减少基板的加热,并且可以在大面积基板上沉积。因此,磁控管溅射比以前采用的蒸发方法更为优越。 评论了磁控管溅射源的工作原理并且同一般溅射进行了比较。因为在一般装饰镀膜工业,尤其是像在塑料等镀膜中,磁控溅射所用电势的缘故,所以要强调金属的直流溅射。讨论了有关圆筒磁控管溅射及… 相似文献
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本文报导了直径为75毫米水冷电极、配有陶瓷磁体用来提供环形隧道磁场的各式平面磁控管的设计资料。电极巳使用直流射频电源,并且已经在功率输入达到 4.8 kw的情况下进行工作。 1.导言 在本实验室已经研制了几种用于高频及直流金属以及化合物溅射方面的平面磁控管,对于一般工作的最简单结构采用了配有陶瓷磁体的直径为75毫米的水冷花子,以使提供二次电子捕集于磁模中所需要的环形隧道磁场。这种靶子电极尺寸允许在小容器内 (例如直径300毫米)安装几个溅射源,以便进行同时或多层镀膜。 下面介绍包括使用直径75毫米电极的各种磁控管形式,以及… 相似文献
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爱德华高真空公司对于机械部件加工的一些看法,这些部件的有效动作取决于加工过程中保持精密尺寸公差。 目前,采用真空工艺的加工程序有所扩大,其范围大大地扩展到空间模拟和冷冻干燥、溶剂的抽出和真空镀膜。对某一特定的应用系统所使用真空泵型号的选择,主要取决于所要求的真空度,当后者要求不低于10-2乇时,机械旋片泵使用最为普遍。旋片泵的主要部件在图1示出,是由带进出口的定子A和转子B组成,转子B内有糟,与叶片或滑片相配合。这些叶片分别装有弹簧以使叶片与定子内壁保持连续接触,这样在转子旋转时,叶片清除它前面的气体分子,而在其… 相似文献
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