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激光偏振干涉光路的非线性分析计算 总被引:6,自引:0,他引:6
偏振干涉光路两臂光程差的变化和合成干涉信号的相位变化,理论上具有线性关系,可以对引起光程差的任何微小量进行测量。实际上光路光学元件性能及调整并不理想,形成了二者的非线性关系。本文分析计算了各光学元件形成的非线性及这些元件综合形成的非线性,给出了适用于各种情况下的计算公式,并提出了光路的调整方法。 相似文献
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针对三角法测量的不足,设计了一种跟踪式偏振光三角法测头。对三角测量法的理论分析表明减小测量范围能提高测量精度。测头结合表面跟踪方法与三角测量法,跟踪使测量范围不受限制;仅在小范围内进行三角法测量,测量精度大大提高。对金属表面的反射特性进行了分析和推导,得出镜面反射与漫反射具有不同的偏振特性。通过偏振滤光减少了镜面反射光对测量的影响,从而降低了对被测表面材质的要求。本文给出了测头结构和工作原理。试验表明,测头能测量镜面反射较强的金属表面,测头可自动跟踪表面,并可结合测距仪实现表面形状的高精度测量。 相似文献
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激光准直中 ,光束漂移是影响准直精度的主要问题 ,为了解决此问题 ,提出了用反馈控制法修正、补偿光束漂移的准直方案 ,对具体的实施方法进行了实验研究。其中 ,利用反馈系统调节反射镜的角度 ,来控制光束漂移一法 ,在激光器预热数分钟后 ,即可实现对光束的二维控制 ,精度可达 0 .1″(5× 1 0 - 7rad) 相似文献
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应用概率论提高CCD尺寸测量的分辨力 总被引:4,自引:2,他引:4
CCD 尺寸测量直接采用脉冲计数法的主要缺点是分辨力差。本文提出一种基于概率论的动态多周期采样平均测量法,可以使测量分辨力提高一个数量级,从而使测量精度显著的提高。本文论述了测量原理及方法,介绍了实验结果。 相似文献
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条码型水准标尺的图像检测方法研究 总被引:1,自引:1,他引:0
以TOPCON型条码水准标尺的检测为例,分析其编码原理,提出采用计算机视觉瞄准与双频激光干涉测量相结合的方法进行条码尺的分划误差检测。实验结果表明,该瞄准检测方法的准确度高、重复性好,可用于条码型铟瓦水准尺的分划精度检测。 相似文献
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