基于感应耦合等离子刻蚀技术的三维微拉伸梁制作工艺

根据感应耦合等离子(Inductively coupled plasma,ICP)刻蚀的机理,针对热氧化硅薄膜微拉伸梁的结构特点,研究ICP刻蚀制作3D微拉伸梁结构的工艺并解决其中的难点问题。介绍ICP刻蚀工艺参数对刻蚀质量的影响,包括存在的微负载效应和深宽比效应。详细介绍热氧化硅薄膜微拉伸梁的制作,其关键步骤是双掩膜两次ICP刻蚀形成阶梯状窗口结构,并在硅衬底表面形成释放了的热氧化硅薄膜梁。利用ICP刻蚀对单晶硅的高选择性,此制作工艺适用于各种薄膜的微拉伸梁制作。     

基于ActiveX控件的图象采集系统

传统的采集卡在LabVIEW中使用一般是通过调用动态链接库的方法实现数据和图像的采集.但一些现成的动态函数库由于接口参数类型与LabVIEW不同而不能使用,而采用ActiveX控件方法,则没有上述问题.本文以图像采集卡为例,在LabVIEW中采用了调用ActiveX控件的方法,方便快捷地实现了对图像的同步采集.