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发动机喷油微小喷油孔尺寸和形状测量系统 总被引:1,自引:0,他引:1
本介绍一种集光学方法和机械接触方法砧地一体,用于测量发动机喷油嘴微小喷油孔尺寸和形状的测量系统,并首镒给出了对直径工214μm的油嘴微小喷油孔尺寸和形状测量的结果。该系统测头直径为40μm-100μm,测量精度优于1μm,测量力小于10μN。 相似文献
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光学接触式微型三维测量系统 总被引:3,自引:0,他引:3
本文介绍了一种集光学方法的高准确度和快速性及机械接触方法的可靠性和不受材料特性影响的单一性优点于一体的光学接触式微型三维测量系统,用于测量微型工件的三几何参数。该系统测头直径为40 ̄100μm,测量准确度优于1μm,测量力小于10μN,并给出了部分典型微型工件的测量结果。 相似文献
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