一种集成式多参数硅微传感器

为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器.该传感器包括压力、温度和湿度传感器.各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成.该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工而成.测量电阻通过离子注入B 形成扩散电阻.为减小各参数间的相互影响,压力传感器的测量电阻布置于[110]晶向,测温电阻沿[100]晶向布置.温度输出信号可以实现对传感器中压力输出时温度漂移的精确补偿.芯片大小为5mm× 5 mm.试验表明传感器具有良好的线性,小迟滞,较高的灵敏度.     

浅谈大众高等教育毕业生质量评价

分析大众高等教育毕业生质量评价及影响因素,提出对大众高等教育毕业生质量进行科学背景评价的指导原则及改进对策.     

空间飞行器表面原子氧密度传感技术综述与设想

对空间飞行器表面原子氧密度测量技术研究现状进行了探讨,并提出了一种新颖的测量方法设想,单个传感器采用YSZ(氧化钇稳定的氧化锆yttria-stabilized zirconia YSZ)作为敏感材料,通过测量YSZ阻抗变化的方法进行原子氧的测量.同时采用已知原子氧腐蚀速率的材料锇一起暴露测量,实现了对YSZ原子氧传感器的在线标定.该方案能解决空间飞行器表面原子氧密度的长期测量和传感器标定困难的问题.     

石英振梁加速度计微细加工工艺研究

介绍了石英振梁加速度计微细加工工艺.对其中的重点、难点进行研究分析.对石英晶片上Cr-Au掩蔽薄膜的沉积工艺,从理论上分析了影响薄膜抗蚀性因素,提出了解决办法.在湿法腐蚀过程中,强调了精确控制腐蚀深度和截面形貌的重要性.并对其带来的影响进行了分析.     

污水处理厂粗、细格栅防水混凝土施工的实践

石家庄市桥东污水处理厂粗格栅与细格栅工程,结构复杂,施工难度较大,采用补偿收缩混凝土作结构自防水,同时用膨胀加强带取代后浇带,取得缩短工期、避免裂渗的良好效果。     

无粘结预应力结构预应力筋重锚及截断施工工艺分析

随着城市规划日益更新,许多城市既有建筑物需要部分拆除。而无粘结预应力楼板拆除后如何保证剩余部分建筑的安全是一个难题。本文采用拆除前将无粘结预应力钢绞线在楼面的保留部分边缘端再锚固后截断的施工方法,可确保无粘结预应力楼板的拆除后剩余部分建筑的安全,并且具有工序易操作、劳动强度低、工程造价低、施工工期短等特点。