全盐量的不确定度评定

分析重量法测量水中全盐量不确定度的来源,评定了水中全盐量的测量不确定度,在各不确定度分量中,称量引入的不确定度较大.     

SOI谐振式微型电场传感器的新型制作工艺研究

This paper presents a new fabrication process for the SOI-based novel miniature electric field sensor. This new process uses polyimide film to release the SiO₂ layer.Compared with the CO₂ critical point release method,it significantly improves the device surface cleanliness and shortens the process flow.The impurity on the base layer is analyzed.The problem of peak and butterfly-type contamination occurring on the base layer of the SOI wafer during the DRIE process is discussed and solved by thickening the photoresist layer and coating with polyimide film twice.This new process could fabricate MEMS sensors and actuators such as SOI-based electric field sensors,gyroscopes,and micro mirrors and can be an alternative fabrication process compared to commercial SOIMUMPS fabrication processes.     

高性能螺线管微电感的制作

利用MEMS技术制作了高性能的空芯螺线管型射频微机械电感.这种微电感采用铜线圈以减小线圈寄生电阻,整个微电感的面积是880μm×350μm,与平面螺旋型微电感相比,有效地节省了芯片面积.测试结果表明,微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,微电感最大Q值为38(@6GHz),对应的电感量为1.82nH.     

过渡族金属掺杂ZnO薄膜的晶体结构和磁性能

采用电子束蒸发法制备了过渡族金属(Fe、Co、Cu)掺杂ZnO薄膜。分析和研究了衬底温度以及Cu掺杂量对薄膜相结构的影响,获得沿c轴高度择尤取向的高质量ZnO薄膜。采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的显微结构,利用所得的图象信息对薄膜进行分析,发现400℃的衬底温度对硅衬底薄膜是合适的,与XRD分析相吻合。通过对薄膜磁性能的分析和研究,得出一些有意义的结果:适量Fe、Co离子掺杂的ZnO薄膜,在室温下具有铁磁性,而在此基础上掺入少量的Cu离子能改善薄膜的磁性能。     

白石输水隧洞支护设计优化研究与应用

地下洞室施工过程中,传统支护设计往往重视安全性指标而忽视经济性指标,造成设计安全系数偏大,建设成本相对较高。文章以辽宁省辽西北供水工程二期白石隧洞建设工程为例,利用正交试验和极差分析等方法,对输水隧洞支护设计方案进行优化研究,获得最佳支护方案。现场试验结果显示优化方案具有良好的支护效果,可在类似工程建设中推广使用。     

基于旋转谐振结构的单芯片二维电场传感器

提出并研制了一种二维电场检测传感芯片,将四个电场测量微型单元和旋转式驱动微结构集成在3. 5 mm ×3. 5 mm的敏感结构上,实现了单芯片的电场二维测量.介绍了传感器的工作原理、敏感结构的设计,以及基于绝缘体上硅( SOI)工艺的单芯片微型二维电场传感器制备工艺技术.成功研制出传感器原理样机,研究了微型二维电场传感器的标定方法,开发了用于电场二维标定的测试装置,并在室温常压下对传感器进行了二维标定.实验结果表明:该传感器能够有效减小电场的轴间耦合干扰,测量误差优于7. 04%,线性度可达到1. 25%.     

微型折叠式三维电场传感器

提出一种基于柔性衬底和三维组装方法的新型三维电场传感器.利用柔性衬底的折叠,构建一种互相垂直的新型三维电场传感器,研究了测量空间电场时的耦合,提出解耦算法,标定灵敏度矩阵,实现了空间电场三个方向分量的准确测量;通过一系列的温湿度实验研究了三维结构的形变,证明了三维电场传感器结构稳定可靠.实验结果表明:所研制的三维电场传感器不仅能消除耦合干扰,实现空间电场分量的准确测量,测量误差在3.61％以内;而且通过新的三维组装方法,大大减少了三维电场传感器的质量、体积,折叠工艺简化了三维传感器的组装,有利于批量化生产.     

结合图像内容匹配的机器人视觉导航定位与全局地图构建系统

为了解决机器人室内定位时的绑架问题和相似物体的干扰,设计了一种具有图像内容匹配功能的视觉系统,从而使机器人能有效提取关键帧序列构建室内全局地图并实现自主定位。考虑影响图像内容匹配的主要干扰是机器人视角和位移造成的图像畸变,本文通过对室内物体的图像畸变建模与特征分析,设计了一种图像内容匹配方法。该方法以图像重叠区提取、基于子块分解匹配的重叠区重建两部分为核心,可将待匹配的两帧图像畸变调整为一致后再进行内容匹配并准确解算它们的相似度。其能有效利用各个房间内不同的景物和布局信息来消除相似物体的影响,从机器人学习环境时采集的视频中提取空间间距大且重叠相连的关键帧序列建立整栋建筑内部的全局导航地图。机器人工作时,实时视觉的图像内容与地图关键帧序列匹配,提取出与每个时刻视觉图像最相似的关键帧对机器人实施定位。在由3个房间和2条走廊组成的实验区进行了实验测试,结果表明:机器人可有效消除相似物体的干扰,绑架发生时仍可通过与全局地图匹配实施准确自主定位,匹配准确率≥93%,定位精度误差(RMSE)0.5m。     

可调谐微机电电感(英文)

射频可调谐微电感在当前发挥着重要作用,它能满足高性能紧凑型器件设计的要求。对于器件设计者来说,可调电感能调谐电感量并能保证较高或适当的品质因素(Q值),这种能力在可调谐系统中比可调电容更有优势,因为可调电容可靠性较低并且大量占用基片面积。可调电感能节省芯片面积,它为将来便携式通讯系统所需的大范围可调谐系统提供一个优选的方案。因此,从器件角度对可调电感进行综述。根据可调电感的调谐机制,可调电感可分为四大类:离散型、金属屏蔽型、磁芯调谐型和线圈耦合型。对文献报道的可调电感进行概括,讨论这些可调电感优点和缺点,同时也介绍了这些可调电感的制备工艺、结果比较和其应用等。     

高性能螺线管微电感的制作

利用MEMS技术制作了高性能的空芯螺线管型射频微机械电感.这种微电感采用铜线圈以减小线圈寄生电阻,整个微电感的面积是880μm×350μm,与平面螺旋型微电感相比,有效地节省了芯片面积.测试结果表明,微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,微电感最大Q值为38(@6GHz),对应的电感量为1.82nH.