一种新型高精度大气压力传感器的研究

采用SOI(silicon-on-insulator)材料,设计并制作了双岛敏感结构,通过绝缘层隔离,消除PN结噪声,提高信噪比、线性度及重复性。利用敏感电阻的温度特性直接测量环境温度,进行温度补偿,提高了补偿的准确性,最后通过试验数据说明传感器的精度达到了气象使用要求。     

压阻式复合惯性加速度传感器的研究

对于压阻式复合惯性加速度传感器的惯性变换系统的结构特性、工作原理进行了分析讨论,建立了数学模型,所设计的惯性式弹性敏感元件,能分别将线加速度产生的惯性力及角加速度产生的惯性力矩,转换成弹性梁的变形,通过应变计及电路,将此变形转换成为可测的电学量.并能通过合理组合的测量电桥,消除线加速度及角加速度之间交叉耦合影响.并用试验证实了该惯性系统设计合理,它可以作为线加速度及角加速度复合测量用.     

一种新型智能单向加速度、速度、距离传感器

本文对智能单向加速度、速度、距离传感器的工作原理、结构进行了分析和讨论，并对研制过程中的关键技术及解决方法进行了探讨。该传感器是利用压阻效应将加速度信号转换成电信号，再对此信号进行两次积分处理，得到速度、距离的电信号，通过A／D转换进入CPU。该传感器具有智能化、低功耗、多参数同时测量等特点。     

压阻式硅微加速度计的研制

介绍压阻式硅微加速度计的结构设计。采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计。该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点,适用于微机械器件的制作。通过测试,加速度计的非线性达到0.2%。讨论了影响加速度计灵敏度的结构因素和工艺因素。     

压阻式复合加速度传感器的研究

对压阻式复合惯性加速度传感器的惯性变换系统的结构、特性、工作原理进行了分析讨论,建立了数学模型,所设计的惯性式弹性敏感元件,能分别将线加速度产生的惯性力及角加速度产生的惯性力矩转换成弹性梁的变形,通过应变计及电路将此变形转换成为可测的电学量。并能通过合理组合的测量电桥,消除线加速度及角加速度之间交叉耦合影响。试验证明:该惯性系统设计合理,它可以作为线加速度及角加速度复合测量用。     

应用在加速度传感器中的集成模拟积分器

普通加速度计只能输出单向加速度信号,速度和位移量需要经过后续软件进行积分处理得到。本文着重介绍了加速度计输出信号的电子积分原理和电路设计,该集成模拟积分器具有积分精度高、转换速度快、动态范围宽、电路结构简单等特点。     

力平衡角加速度传感器的研究

在开环压阻式角加速度的基础上,对敏感质量环进行力反馈,提出闭环力平衡系统的设计方案,经试验验证,力平衡压阻式角加速度计具有灵敏度高、阈值小、成本低、抗冲击能力好等优点.由于采用了力反馈技术,使系统响应对于外界干扰和内部系统参数变化不敏感,因此可采用成本较低、要求不高的元件,构成较精密的系统.     

微电子机械系统和片式系统

介绍微电子机械系统和片式系统的原理、构成和应用,并介绍几种已研制成功的微电子机械系统和片式系统。     

特种传感器发展及趋势

特种传感器在国家重大工程中不可或缺,本文介绍了国际上主要国家在特种传感器方面的发展计划和策略,总体描述了我国在该领域的发展水平及与国外的差距,分别从高温压力传感器、微位移传感器、量子磁传感器、振动传感器、湿度传感器等几个方向,对比了国内外主要研究单位、主要产品的水平,并对我国特种传感器的发展趋势提出了预判与建议。     

轴承负荷法用于鳍轴升力的测量

提出一种测量鳍轴力矩的新方法一轴承负荷法。即利用安装在轴承与轴承座之间的测力传感器直接测量轴承负荷，再通过鳍轴作用点长度得出轴所受力矩。