纳米三坐标测量机模拟接触式探头的标定

三坐标测量机的高精度模拟接触式探头在计算探头球尖位移与传感器输出的关系时需要空间坐标转换模型与标定参数。标定方法基于自己研发的模拟接触式探头,该探头由带有光纤球头的的金属丝悬浮机构,二维角度传感器,小型迈克尔逊干涉仪组成。通过空间坐标转换,矩阵计算模型和标定实验的建立,重点描述了一种特定的标定方法与标定了模型的未知参数。实验结果表明三坐标测量机在x、y、z三方向上测量的标定值与实际值的位移误差的标准差小于30 nm,证明该方法具有一定的可行性与有效性。     

微纳米三坐标测量机测头的研究进展

根据微纳米三维测量的发展和研究现状,首先归纳了三维微纳米测头的技术要求并进行分类,然后对国内外微纳米CMM测头的研究进展进行了介绍和比较,指出了各种类型测头需要解决的问题。针对这些测头的局限性,探讨了正在研究的新型三维谐振触发方法和触发测头。最后对微纳米三坐标测头的研究与开发趋势进行了总结和展望。     

微纳米三坐标测量机接触扫描探头稳定性分析(英文)

对微纳米三坐标测量机(CMM)高精度扫描探头的稳定性进行了分析.该扫描探头由带有球头的光纤探针、悬浮机构、二维角度传感器和微型迈克尔逊干涉仪4部分组成.光纤探针和悬浮片固定在一起,当光纤探针的球头受到触碰时,会带动悬浮机构的悬线发生形变,进而导致贴在悬浮片上的平面反射镜倾斜或在竖直方向上发生位移,前者由二维角度传感器进行感测,后者由微型迈克尔逊干涉仪进行感测.实验结果表明,环境温度的变化是影响探头稳定性的主要因素,探头中机械结构和部件对温度变化的敏感性要远远大于探头中光电器件对温度变化的敏感性.只要将探头放到一个恒温箱中,待恒温箱温度稳定4 h再开始测量,探头即可达到1 nm的分辨力和30nm的测量标准差.