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自动化技术
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1
1.
基于VI的恒温区段测量系统设计
总被引:1,自引:2,他引:1
王彦芳
封筠
贺海宏
韩江河
《微计算机信息》
2006,22(13):170-171
在半导体器件的生产过程中需要定期测量扩散炉、合金炉的恒温区段,针对人工测量效率低,精度差等问题,设计了基于LabVIEW虚拟仪器的恒温区自动测量系统,阐述了系统的组成和测量原理。
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