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提出了基于电子束曝光的微区加热技术.在研究样品吸收能量密度的基础上,在FEI820 Dual Beam FIB/SEM系统上对30 keV电子束曝光Pb、Bi、Sn、Al金属薄膜以及15 keV电子束曝光S1805正性抗蚀剂微结构时的微区加热效应进行了实验研究.结果表明,在一定的曝光剂量下样品表面出现了熔化现象,证明采用电子束曝光可以使某些材料微小区域表面达到相变温度或熔点以上,为使用电子束曝光技术完成某些材料的微纳区域表面热处理以及制备具有光滑曲面的微结构提供了新途径. 相似文献
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韩立 《水资源与水工程学报》1990,(2)
自1978年《钢闸门设计规范》颁布以来,在闸门水力学研究方面取得了新的进展。本文作者应规范修订工作组之约,对闸门规范中涉及的若干水力学问题的近年研究成果,进行了专题综述与讨论,并对规范修订提出了建议。本刊将分两次发表,可供设计工作者及有关部门参考。 相似文献
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在分析论证大朝山水电站导流洞原型糙率的基础上,又根据其他几个钢模板混凝土衬砌施工的输水道的糙率做了综合分析,对糙率n值的合理选取提出了建议。 相似文献
8.
锂离子液流电池是一种新型可充电池,其电极悬浮液的电子电导率直接影响电池的充放电性能。研究针对电极颗粒为球形导电颗柱的静态电极悬浮液,通过建立电极颗粒导电网络的统计模型,分析电极颗粒连通率及平均接触数,计算其电子电导率随颗粒含量的变化关系。设计了一种导电通路搜索算法,结合电阻网络法进行计算机模拟。结果显示,当导电电极颗粒含量达16vol%左右时,电极悬浮液开始具有连续的电子导电特征。悬浮液电子电导率随电板颗粒含量的增加而增大。当导电电极颗粒含量为40vol%时,悬浮液电子电导率可达固态密实电极的50%。 相似文献
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10.
曝光工艺中经离心涂敷后抗蚀剂胶层的均匀性对曝光线宽有很大的影响。为了得到高速旋转下抗蚀剂胶体在凹面衬底上所形成膜层厚度的均匀性,在凹面衬底上建立了非牛顿流体微元经离心旋转的流体动力学模型。根据对应的边界条件、非牛顿流体的本构方程和连续性方程,推导并得到了流体性质、曲面面形、旋转速度和时间等因素与最终厚度的关系式。使用流变仪对950 K PMMA C 2%抗蚀剂的流体性质进行标定,在凹面衬底上以旋转速度为单一变量进行离心涂胶实验,使用光谱椭圆偏振仪测量离心后随矢量半径变化的胶体厚度,并与理论推导进行对比。实验结果表明:旋转速度在2000 r/min时,理论厚度为267 nm,实验所测厚度为230 nm,偏差比率为13.86%;旋转速度在3000 r/min时,理论厚度为178 nm,实验所测厚度为172 nm,偏差比率为3.37%。考虑到涂胶后,前烘工艺会进一步减小胶层厚度,偏差在正常范围内。本文建立的数学模型具有较好的预见性,可以对胶体经旋转离心后的均匀性提供理论指导。 相似文献