新型集成化光学陀螺技术

介绍了新型集成化光学陀螺的概念和特点,总结了新型集成化光学陀螺的研究方案和研究进展,指出未来新型集成化光学陀螺可能的发展方向和发展前景.     

加速度地震检波器简谐振子有限元分析

介绍简谐振子的工作原理。利用ANSYS软件,采用有限元法创建了简谐振子质量块的实体模型,选择单晶硅作为简谐振子中质量块的材料;设置了模型的材料属性,采用智能分网的方式对模型划分网格,并对质量块模型施加沿x轴水平方向载荷,进行三维的静力分析和模态分析。静力分析得到实体模型的总位移是0.236×10-19μm;模态分析时只对前四阶模型进行了分析,根据其振型图及其总位移的应力云图,得到实体模型的二十阶振动模态的频率是78 001Hz,二十阶的总位移是0.122×10-6μm。     

MOEMS光学系统的发展与应用

概述了MOEMS光学系统的种类和特点,介绍了几种主要的MOEMS光学产品、机理和应用方向,阐明了其作为光电技术的前沿所具有的重要作用和广阔前景,提出了相关的研究建议。     

MOEMS器件技术与封装

微光电子机械系统(MOEMS)已经在业界受到研究人员和相关人士的极大关注。文章介绍了MOEMS器件,主要就其制作工艺和封装技术做了讨论。其中,文章着重详细介绍了微光电子机械系统器件的封装工艺和相关技术。     

具有90nm调谐范围的1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器

利用表面微机械技术,成功制作了1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器.原型器件在50V的调谐电压下,调谐范围为90nm.该技术可以用于制作1.3μm Si基可调谐光探测器.     

Micro powder-injection moulding of metals and ceramics

Development of micro-MIM/-CIM was started at Forschungszentram Karlsrahe with the aim of creating a process suitable for a wide range of materials as well as for medium-scale and large-scale production of micro components. Using enhanced machine technology and special tempering procedures, this process enables the manufacturing of metal and ceramic devices with smallest wall thicknesses of 50 Μm and structural details of less than 3 Μm. Using ultrafine ceramic powders (e.g. zirconia) and high-quality LIGA mould inserts, surface qualities ofR _a = 40 nm or R_max ≤ 3 mm could be obtained. Possible practical applications are demonstrated by components of micro-annular gear pumps made of zirconia for future handling of very small volumes of dangerous fluids and micro samples (tensile and bending specimens) suitable for mechanical testing of metals (316L, 17-4PH) and ceramic materials (A1₂O₃, ZrO₂) in the micrometre range.     

光开关研究进展

概述了光开关的各种性能指标;综述了目前业已实用或正在研究的光开关阵列的各种制作技术,分析了其发展趋势;最后介绍了MOEMS光开关的结构和工作原理。     

微光机电陀螺微致动器设计与有限元分析

提出了一种锆钛酸铅(PZT)薄膜微致动器的结构模型。该致动器采用高d33特性的压电陶瓷材料,用于对空间谐振式微光机电(MOEMS)陀螺微镜进行位移和角度的精确定位。建立了该致动器的简化模型并利用有限元方法分析其驱动能力。结果显示,当采用双层结构的PZT薄膜微致动器时,在外加电压50V作用下,环形PZT位移控制器中心位移可达到0.345μm;十字形角度控制器偏转角度可达3.29″,增加PZT薄膜的层数可以进一步增加致动器对微镜位移和角度的控制能力。通过对仿真结果进行分析可以得出结论,选用多层PZT薄膜材料制成的微致动器能够满足调整微镜位移和角度所需的范围和精度要求。     

微型可编程相位光栅的理论特性研究

本文提出了一种基于微光机电系统（MOEMS）的新型可编程相位光栅技术，并对其工作原理和理论特性进行了分析和研究，同时给出部分数值仿真结果，并得出了一些重要的结论。     

微光机电系统封装芯片粘结剂层温度循环应力应变分析

对微光机电系统(micro optical electro mechanical systems,MOEMS)芯片粘结剂层进行了温度循环应力应变有限元分析. 以粘结剂厚度、溢出高度和溢出宽度三个结构参数作为关键因素,采用正交表设计了25种不同水平组合的粘结剂层,获取了25组应力应变数据并进行方差分析. 结果表明,在置信度95%时,粘结层厚度和溢出宽度对应力有显著影响;粘结层厚度对应变有显著影响;各因素对应力应变影响排序为:粘结层厚度影响最大,其次是溢出宽度,最后是溢出高度;粘结剂层内最大应力应变随粘结剂层厚度和溢出宽度的增加而减小.