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电容式压力传感器微电容测量集成的研制

引用本文：	茅盘松,朱静远.电容式压力传感器微电容测量集成的研制[J].传感器与微系统,1993(5):13-21.

作者姓名：	茅盘松朱静远

摘要：
关键词：	开关电容压力传感器电容测量 IC
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