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清洗技术及其在微电子领域的应用
引用本文:
夏俊生.清洗技术及其在微电子领域的应用[J].集成电路通讯,2002,20(1):20-26.
作者姓名:
夏俊生
摘 要:
介绍了清洗过程所包含的清洗媒体、污垢、清洗力等基本要素,并在此基础上说明了清洗技术在微电子领域的应用。
关 键 词:
清洗技术
清洗媒体
污垢
清洗力
微电子
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