| 掺杂纳米SnO2气敏传感器的研究进展 |
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| 引用本文： | 杨华明,杜春芳,欧阳静,张向超,苏晓辉.掺杂纳米SnO2气敏传感器的研究进展[J].微纳电子技术,2005,42(4):145-149,156. |
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| 作者姓名： | 杨华明 杜春芳 欧阳静 张向超 苏晓辉 |
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| 作者单位： | 中南大学资源生物学院无机材料系,长沙,410083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50304014)，湖南省科技攻关计划项目(03KGY3038)，中南大学研究生教育创新工程资助项目(030702) |
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| 摘 要： | 介绍了半导体气敏传感器的发展历史和掺杂纳米SnO2气敏传感器的特性与应用；详细分析了掺杂金属单质、金属氧化物和稀土元素对SnO2气敏性的影响，通过掺杂可以显著改善其对特定气体的灵敏度、稳定性和选择性等参数；利用元件表面的氧吸附理论分析掺杂纳米SnO2的气敏机理；展望了SnO2气敏传感器的发展前景。
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| 关 键 词： | 二氧化锡 掺杂 传感器 气敏特性 |
Research Progress on Doped SnO2 Gas Nanosensors |
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| YANG Hua-ming,DU Chun-fang,OUYANG Jing,ZHANG Xiang-chao,SU Xiao-hui.Research Progress on Doped SnO2 Gas Nanosensors[J].Micronanoelectronic Technology,2005,42(4):145-149,156. |
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| Authors: | YANG Hua-ming DU Chun-fang OUYANG Jing ZHANG Xiang-chao SU Xiao-hui |
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| Abstract: | The development history of semiconductor gas sensors,the properties and application of doped SnO2 gas nanosensors are introduced. Effects of doping metals,metal oxides and rare-earth on the gas sensitivity of SnO2 are thoroughly analyzed. Sensitivity,stability and selectivity of gas sensor towards special gases can be greatly improved through doping. The gas-sensing mechanism of doped SnO2 nanosensors is analyzed using the oxide adsorption theory on the sensor surface. Development prospect of SnO2 gas sensors is also pointed out. |
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| Keywords: | SnO_2 doping sensor gas-sensing characteristic |
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