| 热丝CVD金刚石薄膜制备及碳纳米管形核作用的研究 |
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| 引用本文： | 侯亚奇,庄大明,张弓,吴敏生,刘家浚.热丝CVD金刚石薄膜制备及碳纳米管形核作用的研究[J].真空科学与技术学报,2002,22(1):53-57. |
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| 作者姓名： | 侯亚奇 庄大明 张弓 吴敏生 刘家浚 |
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| 作者单位： | 清华大学机械工程系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 ( 5 9675 0 2 9) |
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| 摘 要： | 利用热丝化学气相沉积法 (HF CVD)进行了金刚石薄膜制备和碳纳米管形核作用的研究。获得了制备金刚石薄膜的优化工艺参数。利用碳纳米管作为形核前驱获得了高质量的金刚石薄膜 ,其沉积速率可达 2 5 μm/h ,晶粒生长完美 ,而且没有出现聚晶现象。研究了碳纳米管涂料质量对薄膜沉积特性的影响 ,并对其机理进行了初步探讨
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| 关 键 词： | 金刚石薄膜 热丝化学气相沉积 碳纳米管 形核前驱 |
| 文章编号： | 0253-9748(2002)01-0053-05 |
| 修稿时间： | 2001年3月30日 |
Effects of Carbon Nanotubes on the Nucleation and Growth of Diamond Films by Hot Filament Chemical Vapor Deposition |
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| Hou Yaqi,Zhuang Daming,Zhang Gong,Wu Minsheng,Liu Jiajun.Effects of Carbon Nanotubes on the Nucleation and Growth of Diamond Films by Hot Filament Chemical Vapor Deposition[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2002,22(1):53-57. |
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| Authors: | Hou Yaqi Zhuang Daming Zhang Gong Wu Minsheng Liu Jiajun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Diamond films HF CVD Carbon nanotube Nucleation precursor |
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