| 热丝辅助ECR CVD制备cBN薄膜 |
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| 引用本文： | 张生俊,陈光华.热丝辅助ECR CVD制备cBN薄膜[J].无机材料学报,2003,18(4):947-950. |
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| 作者姓名： | 张生俊 陈光华 |
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| 作者单位： | 北京工业大学材料学院新型功能材料教育部重点实验室,北京,100022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(19874007);北京市自然科学基金(2982013) |
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| 摘 要： | 立方氮化硼(cBN)是一种具有广泛应用价值的Ⅲ-Ⅴ族二元化合物，其优异性质可与金刚石相比拟或胜之．立方氮化硼的制备与性能研究是近二十年来材料领域关注的焦点之一．我们用热丝辅助ECR CVD方法制备了cBN薄膜，并初步探讨了热丝对cBN形成的作用．偏压并不是cBN形成的唯一主要条件，活性粒子也有非常关键的作用．
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| 关 键 词： | cBN ECR CVD 热丝 |
| 文章编号： | 1000-324X(2003)04-0947-04 |
| 收稿时间： | 2002-5-8 |
| 修稿时间： | 2002年5月8日 |
Fabrication of Cubic Boron Nitride Films by Electron Cyclotron Resonance CVD Assisted with Hot Filament |
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| ZHANG Sheng-Jun,CHEN Guang-Hua.Fabrication of Cubic Boron Nitride Films by Electron Cyclotron Resonance CVD Assisted with Hot Filament[J].Journal of Inorganic Materials,2003,18(4):947-950. |
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| Authors: | ZHANG Sheng-Jun CHEN Guang-Hua |
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| Affiliation: | SchoolofMaterialsSciences&Engineering;BeijingPolytechnicUniversity;TheKeyLaboratoryofAdvancedFunctionalMaterialsMinistryof.EducationChina;Beijng100022;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | cBN ECR CVD hot filament |
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