| CIG前驱膜叠层方式对CIGS膜成分和结构的影响 |
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| 引用本文： | 李秋芳,庄大明,张弓,宋军,李春雷.CIG前驱膜叠层方式对CIGS膜成分和结构的影响[J].真空科学与技术学报,2008,28(1):42-46. |
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| 作者姓名： | 李秋芳 庄大明 张弓 宋军 李春雷 |
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| 作者单位： | 清华大学机械工程系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家863基础研究基金 |
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| 摘 要： | 采用中频交流磁控溅射方法制备了三种不同叠层方式的CuInGa（CIG）前驱膜。采用固态法硒化，获得了CIGS吸收层。采用SEM和XRD观察和分析了薄膜的成分、组织结构和表面形貌。着重分析不同叠层方式的CIG前驱膜对CIGs吸收层薄膜成分、晶体结构的影响。结果表明，三种叠层方式的前驱膜都可以获得成分均匀、结构一致的CIGS吸收层薄膜。Ga可以有效抑制In2Se挥发相生成，保持成分的稳定性。以CuGa（top）／CuIn（bottom）形式的前驱膜有利于形成紧密晶粒排列的CIGS。
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| 关 键 词： | 太阳能电池 CIGS 磁控溅射 前驱膜 叠层方式 前驱膜 叠层 CIGS 薄膜成分 晶体结构 影响 Absorber Microstructures Composition Films Precursor Modes Lamination 晶粒 bottom CuIn 稳定性 相生 均匀 结果 |
| 文章编号： | 1672-7126（2008）01-042-05 |
| 收稿时间： | 2007-02-27 |
| 修稿时间： | 2007年2月27日 |
Influence of Lamination Modes of CuInGa Precursor Films on Composition and Microstructures of Selenized CuInGa Absorber |
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| Li Qiufang,Zhuang Daming,Zhang Gong,Song Jun,Li Chunlei.Influence of Lamination Modes of CuInGa Precursor Films on Composition and Microstructures of Selenized CuInGa Absorber[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2008,28(1):42-46. |
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| Authors: | Li Qiufang Zhuang Daming Zhang Gong Song Jun Li Chunlei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Solar cell CIGS Magnetron sputtering Precursor film Laminated way |
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