| 轻质碳化硅平面反射镜超光滑表面加工 |
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| 引用本文： | 徐清兰,伍凡,吴时彬,王家金.轻质碳化硅平面反射镜超光滑表面加工[J].光电工程,2004,31(9):22-25. |
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| 作者姓名： | 徐清兰 伍凡 吴时彬 王家金 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209 |
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| 摘 要： | 介绍了对角线为110mm六边形反应烧结轻质碳化硅平面反射镜超光滑光学加工工艺流程。详细阐述了各个工序所使用的磨具、磨料和抛光机床工艺参数,对实际加工的轻质碳化硅平面反射镜超光滑表面进行检测,检测结果为:面形精度均方根值(RMS)为0.011λ(PV值为0.071,λ=632.8nm),表面粗糙度RMS达0.75nm。
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| 关 键 词： | 轻质平面反射镜 光学加工 粗糙度 抛光 面形精度 |
| 文章编号： | 1003-501X(2004)09-0022-04 |
| 收稿时间： | 2004/5/20 |
| 修稿时间： | 2004年5月20日 |
Supersmooth surfacing fabrication for lightweight silicon carbide plan mirror |
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| XU Qing-lan,WU Fan,WU Shi-bin,WANG Jia-jin.Supersmooth surfacing fabrication for lightweight silicon carbide plan mirror[J].Opto-Electronic Engineering,2004,31(9):22-25. |
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| Authors: | XU Qing-lan WU Fan WU Shi-bin WANG Jia-jin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Lightweight plane mirror Optical fabrication Roughness Polishing Surface figure |
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