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大直径碳化硅衬底开发成功
引用本文：李子全.大直径碳化硅衬底开发成功[J].现代材料动态,2002(4):5-6.
作者姓名：李子全
摘    要：
关 键 词：碳化硅  半导体衬底  CVD  半导体薄膜
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