| 纳米级类金刚石梯度膜机械特性研究 |
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| 引用本文： | 马峰,蔡珣,李刚,马洪涛.纳米级类金刚石梯度膜机械特性研究[J].材料科学与工程学报,2002,20(2):200-202. |
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| 作者姓名： | 马峰 蔡珣 李刚 马洪涛 |
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| 作者单位： | 1. 上海交通大学,教育部高温材料与高温测试重点实验室,上海,200030
2. 清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (59971 0 30 ) |
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| 摘 要： | 本文采用非平衡磁控溅射及等离子体源离子混合注入方法在奥氏体不锈钢 1Cr18N9Ti基体上制备N TiN Ti(N ,C) DLC梯度涂层。采用原子力显微镜 (AFM)及喇曼光谱等手段观察分析梯度膜的显微组织与相组成 ,同时采用了纳米压入技术评定膜层的力学性能。实验结果表明 ,采用此方法制备的金刚石膜组织致密 ,性能良好
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| 关 键 词： | 类金刚石膜 喇曼光谱 原子力显微镜 纳米压力技术 |
| 文章编号： | 1004-793X(2002)02-0200-03 |
| 修稿时间： | 2001年10月12日 |
Study on the Mechanical Properties of Diamond Like Carbon-based Functionally Gradien Film with Nanomentre Grade |
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| MA Feng ,CAI Xun ,LI Gang ,MA Hong tao.Study on the Mechanical Properties of Diamond Like Carbon-based Functionally Gradien Film with Nanomentre Grade[J].Journal of Materials Science and Engineering,2002,20(2):200-202. |
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| Authors: | MA Feng CAI Xun LI Gang MA Hong tao |
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| Affiliation: | MA Feng 1,CAI Xun 1,LI Gang 1,MA Hong tao 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diamond like carbon nano indentation Raman scattering spectroscopy AFM |
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