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| 铝诱导晶化法低温制备多晶硅薄膜 | |
| 引用本文： | 饶瑞,徐重阳,孙国才,王长安,曾祥斌.铝诱导晶化法低温制备多晶硅薄膜[J].无机材料学报,2001,16(4):688-692. |
| 作者姓名： | 饶瑞 徐重阳 孙国才 王长安 曾祥斌 |
| 作者单位： | 1. 华中科技大学电子科学与技术系;中国地质大学材料科学与化学工程学院 2. 华中科技大学电子科学与技术系, 3. 华中科技大学物理系, |
| 基金项目： | 原华中理工大学与香港科技大学合作研究项目 |
| 摘 要： | 为了满足在普通玻璃衬底上制备多晶硅薄膜晶体管有源矩阵液晶显示器,低温(＜600℃)制备高质量多晶硅薄膜已成为研究热点.本文研究了一种低温制备多晶硅薄膜的新工艺金属诱导非晶硅薄膜低温晶化法.在非晶硅薄膜上蒸镀金属铝薄膜,并光刻形成铝膜图形,而后于氮气保护中退火.利用光学显微镜和拉曼光谱等测试方法,研究了Al诱导下非晶硅薄膜的晶化过程,结果表明,在560℃退火6h后,铝膜下的非晶硅已完全晶化,确定了所制备的是多晶硅薄膜.初步探讨了非晶硅薄膜金属诱导横向晶化机理. |
| 关 键 词： | 金属诱导晶化 非晶硅薄膜 多晶硅薄膜 金属铝 晶化机理 |
| 文章编号： | 1000-324(2001)04-0688-05 |
| 收稿时间： | 2000-7-5 |
| 修稿时间： | 2000年7月5日 |
Preparation of Polycrystalline Silicon Films by Aluminium Induced Crystallization at Low Temperatures |
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| RAO Rui,XU Zhong-Yang,SUN Guo-Cai,WANG Chang-An,ZENG Xiang-Bin.Preparation of Polycrystalline Silicon Films by Aluminium Induced Crystallization at Low Temperatures[J].Journal of Inorganic Materials,2001,16(4):688-692. | |
| Authors: | RAO Rui XU Zhong-Yang SUN Guo-Cai WANG Chang-An ZENG Xiang-Bin |
| Affiliation: | 1.DeparmentofElectronicsScienceandTechnology;HuazhongUniversityofScienceandTechnology;Wuhan430074;China;2.DepartmentofMaterialScienceandChemicalEngineering;ChinaUniversityofGeosciences,Wuhan430074,China;3.DepartmentofPhysics,HuazhongUniversityofScienceandTechnology,Wuhan430074,China |
| Abstract: | |
| Keywords: | metal induced crystallization low temperature amorphous silicon film polycrystalline silicon film |
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