| EIS型半导体生化传感器EI界面势的理论模拟 |
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| 引用本文： | 贾芸芳,牛文成,张福海,刘国华,俞梅.EIS型半导体生化传感器EI界面势的理论模拟[J].半导体学报,2005,26(11):2196-2201. |
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| 作者姓名： | 贾芸芳 牛文成 张福海 刘国华 俞梅 |
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| 作者单位： | 南开大学信息技术科学学院 微电子系，天津 300071;南开大学信息技术科学学院 微电子系，天津 300072;南开大学信息技术科学学院 微电子系，天津 300073;南开大学信息技术科学学院 微电子系，天津 300074;南开大学信息技术科学学院 微电子系，天津 300075 |
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| 摘 要： | 建立了较完整的适用于EIS(electrolyte insulator semiconductor)型生化传感器的EI界面势理论模型,在此基础上开发了EI界面的计算机辅助分析程序,对EI界面中双电层电势分布、带电格点密度、EI界面势进行了深入的定量分析,最后将EI界面势模拟结果与ISFET(ion sensitive field effect transistor)的实测结果进行了比较,进一步验证了文中的理论模型.
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| 关 键 词： | 半导体生化传感器 EI界面势模型 计算机辅助分析 半导体 生化传感器 界面势 理论模拟 Sensor Biochemical Semiconductor Voltage 验证 比较 实测结果 sensitive field effect transistor ISFET 模拟结果 定量分析 点密度 电势分布 双电层 |
| 文章编号： | 0253-4177（2005）11-2196-06 |
| 收稿时间： | 2005-02-02 |
| 修稿时间： | 2005-06-22 |
Simulation of EI-Interface Voltage in an EIS-Type Semiconductor Biochemical Sensor |
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| Jia Yunfang,Niu Wencheng,Zhang Fuhai,Liu Guohua and Yu Mei.Simulation of EI-Interface Voltage in an EIS-Type Semiconductor Biochemical Sensor[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(11):2196-2201. |
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| Authors: | Jia Yunfang Niu Wencheng Zhang Fuhai Liu Guohua and Yu Mei |
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| Affiliation: | Department of Microelectronics, Nankai University,Tianjin 300071, China;Department of Microelectronics, Nankai University,Tianjin 300072, China;Department of Microelectronics, Nankai University,Tianjin 300073, China;Department of Microelectronics, Nankai University,Tianjin 300074, China;Department of Microelectronics, Nankai University,Tianjin 300075, China |
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| Abstract: | An EI(electrolyte insulator)-interface voltage model suitable for EIS(electrolyte insulator semiconductor) sensor is proposed.Based on this model a CAA program is developed.Using this program,the voltage distribution of the double layer,density of electriferous sites, and EI-interface voltage are quantificationally analyzed.Finally, to certify this model,the contrast of the simulated results with the experiment data of ISFET (ion sensitive field effect transistor) is given. |
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| Keywords: | semiconductor biochemical sensor EI interface voltage model CAA |
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