| 从微电子到"活动的硅"--系统集成的未来潜力 |
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| 引用本文： | 盛水源.从微电子到"活动的硅"--系统集成的未来潜力[J].微电子技术,2003,31(4):10-13. |
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| 作者姓名： | 盛水源 |
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| 作者单位： | 信息产业部电子科技情报所,北京,100040 |
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| 摘 要： | 本文主要介绍微电子发展趋势、微电子与微机械结合、系统集成的未来潜力。
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| 关 键 词： | 微电子 趋势 微机械 系统集成 |
| 文章编号： | 1008-0147(2003)04-10-04 |
| 修稿时间： | 2002年10月29 |
From Microelectronics to "Active Silicon"--Future Potentials of System Integration |
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| SHENG Shui-yuan.From Microelectronics to "Active Silicon"--Future Potentials of System Integration[J].Microelectronic Technology,2003,31(4):10-13. |
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| Authors: | SHENG Shui-yuan |
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| Abstract: | In the paper, the developing trend of microelectronics, and the microelectronics combined with micro-mechanics, as well as the future potential of system integration are described. |
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| Keywords: | Microelectronics Trend Micro-mechanics System integration |
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