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| ZrO2掺杂SnO2厚膜的制备及其气敏性能研究 | |
| 引用本文： | 吉向东,杨纪青,王汉忠,方国家.ZrO2掺杂SnO2厚膜的制备及其气敏性能研究[J].郑州轻工业学院学报(自然科学版),2000,15(4):56-58. |
| 作者姓名： | 吉向东 杨纪青 王汉忠 方国家 |
| 作者单位： | 1. 襄樊学院,物理系,湖北,襄樊,441053 2. 襄樊学院,电气信息工程系,湖北,襄樊,441053 3. 襄樊学院,物理系,湖北,襄樊,441053;华中科技大学,物理系,湖北,武汉,430074 |
| 基金项目： | 湖北省教育厅基金资助项目(97A085) |
| 摘 要： | 采用化学共沉淀法成功地制备了ZrO2掺杂的SnO2超微粉,用丝绸印刷法制备了厚膜型气敏传感材料,并制成了平面型气敏元件.研究了不同掺杂量、不同烧结温度的厚膜材料的气敏性能.实验表明掺杂降低了纯SnO2厚膜的电阻及敏感温区的温度,并且烧结温度对气敏性能影响较大.在200℃下,掺杂量为1%的ZrO2-SnO2厚膜对浓度为2×10-5的H2S气体具有较好的灵敏度(β=5.2),响应恢复时间均＜1 min. |
| 关 键 词： | 厚膜 气敏器件 烧结 超微粉 氧化锆 氧化锡 |
| 文章编号： | 1004-1478(2000)04-0056-03 |
| 修稿时间： | 2000年7月10日 |
Preparation of ZrO2-SnO2 thick films and their gas sensitivities |
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