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| 发展中的MOEMS压力传感器 | |
| 引用本文： | 李晓延.发展中的MOEMS压力传感器[J].传感器世界,2004,10(8):12-14. |
| 作者姓名： | 李晓延 |
| 作者单位： | 北京北四环中路35号北京信息工程学院404信箱 |
| 摘 要： | 微型光机电系统(MOEMS)技术是一门新兴的技术,其应用涉及光通信、光显示、数据存储和光学传感等诸多方面,而利用这种技术制作的光学压力传感器更是具有传统压力传感器无可比拟的优点.本文着重介绍了MOEMS压力传感器的结构、工作原理以及制作工艺,并简要介绍了MOEMS压力传感器阵列的结构和制作工艺. |
| 关 键 词： | 微型光机电系统 MOEMS 光学压力传感器 压力传感器 阵列 发展 MOEMS 压力传感器阵列 Pressure Sensor 制作工艺 工作原理 结构 可比 光学压力传感器 技术制作 利用 光学传感 数据存储 显示 光通信 应用 新兴 微型光机电系统 |
| 文章编号： | 1006-883X(2004)08-0012-003 |
Developing MOEMS Pressure Sensor |
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