| C+注入Si形成SiC/Si异质结构的椭偏光谱 |
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| 引用本文： | 阳生红,李辉遒,莫党,陈第虎,黄世平.C+注入Si形成SiC/Si异质结构的椭偏光谱[J].半导体学报,2000,21(11). |
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| 作者姓名： | 阳生红 李辉遒 莫党 陈第虎 黄世平 |
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| 作者单位： | 1. 中山大学物理系,广州,510275
2. 香港中文大学电子工程系材料技术研究中心,香港 |
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| 摘 要： | 用椭偏光谱法测量了(35keV,1.0×10118cm-2)和(65keV,1. 0×1018cm-2)C+注入Si形成的SiC/Si异质结构.应用多层介质膜模型和有效介质近似,分析了这些样品的SiC/Si异质结构的各层厚度及主要成份.研究结果表明:注35keV C+的样品在经1200 C、2h退火后形成的SiC/Si异质结构,其β-SiC埋层上存在一粗糙表面层,粗糙表面层主要由β-SiC、非晶Si和SiO2组成,而且β-SiC埋层与体硅界面不同于粗糙表面层与β-SiC埋层界面;注65keV C+的样品在经1250 C、10h退火后形成的SiC/Si异质结构,其表层Si是较完整的单晶Si,埋层B-SiC分成三层微结构,表层Si与β-SiC埋层界面和β-SiC埋层与体硅界面亦不相同.这些结果与X射线光电子谱(XPS)和横截面透射电子显微镜(TEM)的分析结果一致.
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| 关 键 词： | 椭偏光谱 C+注入 SiC 异质结构 |
Spectroscopic Ellipsometry of SiC/Si Heterostructures Formed by C+ Implantation into Crystalline Silicon |
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| YANG Sheng-hong,LI Hui-qiu,MO Dang,CHEN Di-hu,WONG S. P.Spectroscopic Ellipsometry of SiC/Si Heterostructures Formed by C+ Implantation into Crystalline Silicon[J].Chinese Journal of Semiconductors,2000,21(11). |
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| Authors: | YANG Sheng-hong LI Hui-qiu MO Dang CHEN Di-hu WONG S P |
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