| 基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器 |
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| 引用本文： | 黄辉,王兴妍,王琦,黄永清,任晓敏,高俊华,张胜利,刘宇,祝宁华,马骁宇,杨晓红,吴荣汉.基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器[J].半导体学报,2004,25(2):170-173. |
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| 作者姓名： | 黄辉 王兴妍 王琦 黄永清 任晓敏 高俊华 张胜利 刘宇 祝宁华 马骁宇 杨晓红 吴荣汉 |
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| 作者单位： | 北京邮电大学光通信中心 北京100876
(黄辉，王兴妍，王琦，黄永清，任晓敏)，中国科学院半导体研究所 北京100083
(高俊华，张胜利，刘宇，祝宁华，马骁宇，杨晓红)，中国科学院半导体研究所 北京100083(吴荣汉) |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)
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国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 报道了一种长波长的In P基谐振腔(RCE)光电探测器.采用选择性湿法刻蚀,制备出基于In P/空气隙的分布布拉格反射镜,并将该结构的反射镜引入RCE光电探测器.制备的器件在波长1.5 10 μm处获得了约5 9%的峰值量子效率,以及8GHz的3d B响应带宽,其中器件的台面面积为5 0 μm×5 0 μm.
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| 关 键 词： | 谐振腔增强型光电探测器 长波长 空气隙 选择性湿法刻蚀 |
| 文章编号： | 0253-4177(2004)02-0170-04 |
| 修稿时间： | 2003年3月18日 |
Long Wavelength Resonant Cavity Photodetectors with InP/Air-Gap Bragg Mirrors |
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| Huang Hui,Wang Xingyan,Wang Qi,Huang Yongqing,Ren Xiaomin,Gao Junhua,Zhang Shengli,Liu Yu,Zhu Ninghua,Ma Xiaoyu,Yang Xiaohong and Wu Ronghan.Long Wavelength Resonant Cavity Photodetectors with InP/Air-Gap Bragg Mirrors[J].Chinese Journal of Semiconductors,2004,25(2):170-173. |
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| Authors: | Huang Hui Wang Xingyan Wang Qi Huang Yongqing Ren Xiaomin Gao Junhua Zhang Shengli Liu Yu Zhu Ninghua Ma Xiaoyu Yang Xiaohong and Wu Ronghan |
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| Affiliation: | Huang Hui1,Wang Xingyan1,Wang Qi1,Huang Yongqing1,Ren Xiaomin1,Gao Junhua2,Zhang Shengli2,Liu Yu2,Zhu Ninghua2,Ma Xiaoyu2,Yang Xiaohong2 and Wu Ronghan2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | resonant cavity enhanced (RCE) photodetector long wavelength air gap selective wet etching |
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