| 高结构对称性微半球陀螺设计与制造 |
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| 引用本文： | 梅松,杨峰,文路,卢昱瑾,贺韵祺,陈朝春,韩世川,雷霆,林丙涛.高结构对称性微半球陀螺设计与制造[J].压电与声光,2023,45(2):220-225. |
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| 作者姓名： | 梅松 杨峰 文路 卢昱瑾 贺韵祺 陈朝春 韩世川 雷霆 林丙涛 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司 第二十六研究所, 重庆 400060 ；重庆市固态惯性技术企业工程技术研究中心,重庆 401332 ；重庆市固态惯性技术工程实验室,重庆 401332 |
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| 摘 要： | 针对陀螺高精度小型化需求，该文设计了一种微半球陀螺结构，建立微半球陀螺三维有限元模型，研究了微半球谐振子结构对称性对陀螺性能的影响规律。提出了谐振子圆度及1～4阶质量不对称误差的评价方法，实现了谐振子制造工艺优化，优化后的谐振子圆度误差≤2μm,在此基础上研制了微半球陀螺样机。结果表明，封装后陀螺样机的周向品质因数(Q)值分布为(9.024～9.183)×105,均匀性为±0.87%;速率模式下，陀螺量程为±20 (°)/s时，陀螺零偏不稳定性为0.013 8 (°)/h,角度随机游走为■,展现了高结构对称性微半球陀螺的性能潜力。
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| 关 键 词： | 微型半球陀螺 圆度误差 质量不对称 品质因数(Q)值均匀性 零偏不稳定性 |
| 收稿时间： | 2022/11/10 0:00:00 |
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