| 离轴照明空间成像的偏振光影响研究 |
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| 引用本文： | 余国彬,罗先刚,姚汉民,严佩英,胡松,严伟.离轴照明空间成像的偏振光影响研究[J].微细加工技术,2003(3):22-25. |
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| 作者姓名： | 余国彬 罗先刚 姚汉民 严佩英 胡松 严伟 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所,成都,610209 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60078005) |
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| 摘 要： | 在投影光刻中矢量衍射理论适用于研究照明光的偏振态对空间成像的影响。主要研究了在离轴照明方式下照明光的偏振态对线条图形的影响。发现在高数值孔径时光的偏振状态严重影响了离轴照明空间成像，结果表明可以通过控制照明光的偏振态来改善光学系统的分辨率。
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| 关 键 词： | 投影光刻 离轴照明 空间成像 偏振光 光学光刻 |
| 文章编号： | 1003-8213(2003)03-0022-04 |
| 修稿时间： | 2003年3月17日 |
An Investigation on Effect of the Polarized Light in the Off-axis Illumination Aerial Images |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical lithography off-axis illumination polarized light aerial image |
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