| 纳米复合超硬薄膜的研究现状 |
| |
| 引用本文： | 赵红雨,范秋林,宋力昕,施尔畏,胡行方.纳米复合超硬薄膜的研究现状[J].无机材料学报,2004,19(1):9-16. |
| |
| 作者姓名： | 赵红雨 范秋林 宋力昕 施尔畏 胡行方 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心, 上海 200050 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(50082006)，中华人民共和国教育部留学回国人员科研启动基金(04144(99))，中国科学院上海硅酸盐研究所留学回国人员科研启动基金 |
| |
| 摘 要： | 自1994年Veprek等人提出纳米复合超硬薄膜的概念以来,以其优异的力学性能和化学性能而成为当今材料科学领域的研究热点之一.本文将介绍纳米复合超硬薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能和应用前景,及其发展趋势.
|
| 关 键 词： | 超硬薄膜 纳米复合结构 CVD 磁控溅射 |
| 文章编号： | 1000-324X(2004)01-0009-08 |
| 收稿时间： | 2003-1-13 |
| 修稿时间： | 2003-6-26 |
Research Status and Development of Superhard Nanocomposite Films |
| |
| ZHAO Hong-Yu,FAN Qiu-Lin,SONG Li-Xin,SHI Er-Wei,HU Xing-Fang.Research Status and Development of Superhard Nanocomposite Films[J].Journal of Inorganic Materials,2004,19(1):9-16. |
| |
| Authors: | ZHAO Hong-Yu FAN Qiu-Lin SONG Li-Xin SHI Er-Wei HU Xing-Fang |
| |
| Affiliation: | Research and Development Center of Special Inorganic Materials of Shanghai Institute of Ceramics; Chinese Academy of Sciences; Shanghai 200050; China |
| |
| Abstract: | Superhard nanocomposite films are attracting more and more interests due to their excellent mechanical and chemical properties since S. Veprek et al. presented the concept in 1994. The concept, classification, superhard mechanisms, synthesis technologies and processes, properties, applications, and development of superhard nanocomposite films were reviewed in this paper. |
| |
| Keywords: | superhard films nanocomposite structure CVD magnetron sputtering |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《无机材料学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《无机材料学报》下载全文 |
