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从微电子技术诞生的机械技术,在微电子技术中也有重要应用。本文列举了微流量计、微致动器、光掩模、蒸发掩模等几种典型应用,从中可看出微机械技术对微电子技术向更高水平发展有显著的促进作用。 相似文献
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微机械、微电子技术是三微系统工程的组成部分,本刊第4期已阐述了微光学技术的发展。本文的第二部分介绍微机械和微电子集成系统的技术现状和应用前景。 相似文献
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微电子机械系统及硅微机械加工工艺 总被引:3,自引:0,他引:3
微电子机械系统(MEMS)是一项21世纪可以广泛应用的新兴技术。硅微机械加工工艺是近年来随着集成电路工艺发展起来的MEMS主流技术。介绍了MEMS的特点、国内外MEMS的发展现状,讨论了MEMS的三种加工方法,着重探讨了硅微机械加工中常用的腐蚀、键合、光刻、氧化、扩散、溅射等工艺。 相似文献
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张明宝 《信息技术与标准化》2007,(1):58-62
XML技术以其卓越的技术特点得到计算机应用领域的广泛推崇,各类XML技术纷纷出现。采用基于XML的制造联盟使能技术是发展的必然趋势。为了很好的利用现存的各类XML技术,在借鉴Web Service和电子商务技术研究的成功经验的基础上,建立了基于XML的制造联盟使能技术概念模型,并且用该模型对各类用于制造联盟使能技术的XML规范进行了分类。最后分析了它们的现状和未来的发展趋势。 相似文献
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MEMS封装技术的发展及应用 总被引:3,自引:0,他引:3
封装技术在微电子机械系统(MEMS)器件中的地位和作用越来越重要。本文归纳与总结了MEMS封装的特点和发展趋势,重点对MEMS封装技术的应用进行了分析,最后给出一些有益的想法和看法。 相似文献
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基于MEMS技术的安培酶免疫传感器研究 总被引:2,自引:0,他引:2
该文采用MEMS工艺制备可集成安培酶免疫传感器,用于人免疫球蛋白IgG的检测。该传感器以硅作为基底,铂作为电极,工作电极敏感面积1mm2。SU-8胶形成的微反应池结构使该传感器试剂用量仅为l量级。聚吡咯作为酶与电极之间的电子转移基体聚合于工作电极敏感表面,戊二醛作为交联剂进行抗体(羊抗人IgG)的固定。抗体与酶标抗体(辣根过氧化物酶HRP标羊抗人IgG)对人IgG进行特异性夹心识别,通过检测酶标HRP对底物H2O2催化产生的电流信号实现免疫检测。该传感器工作电压-0.3V,检测下限5ng/ml,线性范围5~255ng/ml,响应时间3min,具有响应快、下限低、试剂用量少、微型化、便于集成等优点。 相似文献
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微钎料球键合技术是一种成本低、适应性强,可靠性好的键合技术,容易与现有的IC自动化设备集成。微钎料球键合技术结合倒扣封装可以实现低成本、高密度以及高可靠性的MEMS封装;而且具有自对准或者自组装的功能,在MEMS封装中获得了广泛的应用。准确地预测微钎料球键合对于MEMS自组装的影响依赖于动态模型的发展。微钎料球键合技术的出现推动了标准化的MEMS封装工艺的进程。 相似文献
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射频微机电系统技术现状 总被引:8,自引:0,他引:8
较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器件在性能、尺寸等各方面的差别,可以了解 RF MEMS 技术在相控阵雷达上运用的优势。 相似文献
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V. Dragoi P. Lindner H. Kirehberger P. Kettner 《电子工业专用设备》2007,36(1):31-36
新型MEMS应用领域的发展为现有的制造技术带来了很大的挑战,并促使了满足新加工要求的制造能力的发展。根据目前MEMS制造中普遍采用的不同的晶圆键合方法及其主要工艺参数要求,开发了一种新型的晶圆键合技术。 相似文献