硅压力传感器可靠性强化试验研究

为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标,综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术,并应用失效物理学原理,对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述。     

硅压力传感器可靠性强化试验研究

为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标,综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术,并应用失效物理学原理,对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述.     

硅压力传感器的可靠性测试

硅压力传感器的可靠性测试技术研究受到了国内外的重视，对它的测试项目及其加速寿命测试方法进行了综述。     

硅压力传感器研究现状

论述了硅压力传感器国内外研究现状及应用前景。     

硅压力传感器研究现状

论述了硅压力传感器国内外研究现状及应用前景     

压力传感器测试过程可靠性分析

根据压力传感器的实际测试过程中的各个环节已经或可能产生的影响,获取压力传感器真实性能输出数据的因素,采用可靠性的分析方法对其进行分析;提示了测试过程中影响传感器输出的规律,减小传感器因在测试过程中产生的误差;并为深入研究压力传感器提供一条新的思路,为研究新的压力传感器提供一定的理论依据.     

具有频率输出的硅压力传感器

本工作提出的具有频率输出的硅压力传感器是建立在CMOS环形振荡器基础上的,该环形振荡器是放置在传感器芯片的薄膜上的.由于压力压阻效应,施加的压力在薄膜上产生的机械应力改变了环形振荡器中MOSFET载流子的迁移率,从而MOSFET的漏电流及相应的环振频率成为压力的函数.     

压力传感器测试过程可靠性分析

根据压力传感器的实际测试过程中的各个环节已经或可能产生的影响,获取压力传感器真实性能输出数据的因素,采用可靠性的分析方法对其进行分析;提示了测试过程中影响传感器输出的规律,减小传感器因在测试过程中产生的误差;并为深入研究压力传感器提供一条新的思路,为研究新的压力传感器提供一定的理论依据。     

压力传感器测试过程可靠性分析

根据压力传感器的实际测试过程中的各个环节已经或可能产生的影响，获取压力传感器真实性能输出数据的因素，采用可靠性的分析方法对其进行分析；提示了测试过程中影响传感器输出的规律，减小传感器因在测试过程中产生的误差；并为深入研究压力传感器提供一条新的思路，为研究新的压力传感器提供一定的理论依据。     

硅压阻式压力传感器时漂研究

压力传感器的时漂普遍存在,一直找不到有效的方法来解决。针对因参数退化引起的时漂,采用加速老化试验,得到了压力传感器的失效模式及失效比例。分析了输入／输出特性曲线形状及其随时间和温度的变化规律。提出一种用标准压力对传感器进行实时标定进而获得实时输入／输出特性的方法,标定的实现由程序控制。经验证对比,实时输入／输出特性达到很高的精确度。在0～45kPa压力范围、-10～45℃温度范围内,根据其计算的压力值与实际压力比较,最大偏差为0．098kPa,最大相对误差0．92％。     

Modelling and Experiment of a Silicon Resonant Pressure Sensor

Modelling of a silicon resonator as a pressure sensor is presented. The resonator is electrothermally excited and the resonance frequency shift is detected by a piezoresistive thin film detector. Computer simulation using the commercial MEMS software tool IntelliSuite is compared with analytical model. Various design aspects, such as the pressure sensitivity, electrothermal heating of vibrating beam, influence of detection current and damping effect are investigated. Silicon resonator sensors have been fabricated and measured. The characteristics predicted by computer simulation has been confirmed by experimental results.     

光纤光栅原油压力传感器实验及其可靠性研究

介绍并制作了一种光纤光栅高温高压传感器,它由三种金属管组成,中央的弹性金属管将液体的压力转换为管子的机械伸长,周围金属管的长度只随温度变化。光纤光栅的两端分别固定在中央管及周围管的末端,随着压力管内液体压力的增加,光栅的中心波长随之增加,实现了对液压的传感。对该传感器的温度补偿进行了分析,设计了具有相同温度系数的压力传感光栅与温度传感光栅。并对传感器进行了高压实验和高温、高湿存储实验。结果表明,这种压力传感器在0~50 MPa之间灵敏度为31.7 pm/MPa。经过200℃高温存储16 h,及100℃沸水浸泡6 h,波长没有观察到明显衰退现象。     

MEMS机油压力传感器可靠性研究

研究了封装工艺对传感器可靠性的影响。分析和实验结果表明，机油压力传感器封装材料及各个工艺步骤都会影响传感器的性能和可靠性。贴片胶性能不能满足可靠性要求，会引起传感器信号漂移和高温不稳定性；引线键合强度不够，在工作中会断裂；硅油化学稳定和耐温性能不够好，会造成传感器高温输出信号不稳定，硅油中的空气和杂质会造成传感器零点输出偏大，使传感器的精度下降等。     

MEMS机油压力传感器可靠性研究

研究了封装工艺对传感器可靠性的影响。分析和实验结果表明,机油压力传感器封装材料及各个工艺步骤都会影响传感器的性能和可靠性。贴片胶性能不能满足可靠性要求,会引起传感器信号漂移和高温不稳定性;引线键合强度不够,在工作中会断裂;硅油化学稳定和耐温性能不够好,会造成传感器高温输出信号不稳定,硅油中的空气和杂质会造成传感器零点输出偏大,使传感器的精度下降等。