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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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一、深化计量法律法规贯彻执行,加强计量技术规范建设1.加强制度建设。一是结合计量领域"双随机、一公开"监管要求,完善随机抽查工作细则,建立健全检查"两库",全面实施计量领域7个"双随机"监管项目。二是为推进服务业诚信计量体系建设,提高服务业诚信计量管理水平,有序推进我市服务业诚信计量分类监管工作. 相似文献
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三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台中微电子和微纳系统领域未来发展的一项核心高技术。文章详细介绍了毫米波频段三维异质异构集成技术的优势、近年来的发展趋势以及面临的挑战。利用硅基MEMS 光敏复合薄膜多层布线工艺可实现异质芯片的低损耗互连,同时三维集成高性能封装滤波器、高辐射效率封装天线等无源元件,还能很好地处理布线间的电磁兼容和芯片间的屏蔽问题。最后介绍了一款新型毫米波三维异质异构集成雷达及其在远距离生命体征探测方面的应用。 相似文献
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为了研究聚酰亚胺薄膜在308nm准分子激光下的剥离效果, 采用实验研究的方法, 分别探究了激光能量密度、光斑重叠率、脉冲频率、衬底温度对激光剥离效果的影响, 并结合显微镜观察剥离后的衬底和薄膜形貌。结果表明, 激光剥离能量阈值约为160mJ/cm2, 在激光能量密度为180mJ/cm2~190mJ/cm2左右、光斑重叠率为68.33%时, 剥离效果较好; 提高衬底温度有利于激光剥离过程。该研究对聚酰亚胺薄膜在柔性电子领域的工业化应用具有一定意义。 相似文献
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本文探索Sony Venice摄影机关于"机头机身分离"以及"双原生感光度"这两项革命性的技术功能,在实际电影拍摄创作中的应用。设计了与电影拍摄要求近似的短片段落拍摄,包含日景场景、低照度场景、动作场面、情感场面等典型拍摄内容,进行实地拍摄检验。基本按预期的设计和规划完成了拍摄,拍摄样片达到较高的技术水准和艺术品质。Sony Venice摄影机的双原生感光度是非常实用的一项功能,特别是在低照度条件下提高拍摄效率;机头机身分离的功能可以创作出新的手持摄影风格,但是需要加装第三方附件配合实用。 相似文献
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《Planning》2015,(14):63-65
目的:探讨二甲双胍联合妈富隆(去氧孕烯炔雌醇)对多囊卵巢综合征不孕治疗的临床效果。方法:采用随机数字表法将本院60例多囊卵巢综合征患者分为两组,其中对照组采用常规二甲双胍治疗,试验组采用二甲双胍联合妈富隆(去氧孕烯炔雌醇)进行治疗,观察并比较两组患者经过治疗后的临床效果。结果:两组患者经过治疗后,试验组总有效率(96.67%)明显高于对照组(70.00%),试验组患者各生理指标明显低于对照组,试验组患者妊娠率(90.00%)明显高于对照组(50.00%),差异均有统计学意义(P<0.05)。结论:采用二甲双胍联合妈富隆(去氧孕烯炔雌醇)对多囊卵巢综合征不孕进行治疗,不但能够改善患者胰岛素抵抗,而且有效促进排卵以达到妊娠目的,安全、有效,应该在临床上广泛应用。 相似文献