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采用离子束增强沉积(IBED)技术,在不同能量氮离子的轴助轰击下制备了Cr-N薄膜,通过SEM观察、XRD分析和显微硬度测定,发现离子轰击能量对Cr-N薄膜的表面形貌、相组成和硬度有显著的影响;随着能量的升高,膜表明形貌由岛形颗粒状转变成蜂窝状;一定能量轰击下获得的Cr2N和CrN混相结合有最高的薄膜硬度;高达16keV的氮离子轰击可诱发非晶化的出现,并对膜有一定的强化作用。在此基础上探讨了离子轰 相似文献
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证明了在连续蒸镀两层高,低折射率介质膜过程中,当第一层厚度不足λ/4厚时,刚开始蒸镀第二层膜时其反射率变化趋势与第一层膜相同,并由此展开,说明两层厚度不足λ/4的薄膜在很大程度上等价于一层λ/4的薄膜。 相似文献
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假设薄膜伯氧体结环行器中是TEM波传输,我国采用一种新的等效场理论,得出其中的S参量和损耗。当Y结环行器中的铁氧体片厚度小于200μm时,其导体损耗大于介电损耗和磁损耗。 相似文献
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在纯Ar和Ar+10%O2两种工作气体及不同基板偏压条件下,用射频溅射方法制备了Al2O3薄膜,测量了每个样品的内应力和密度,并对部分样品用X射线光电子谱进行了结构分析。结果表明,薄膜呈非晶态,薄膜的应内应力均为压力,并给出了气体种类和偏压对膜的密度和应力的影响。 相似文献