毫米波三维异质异构集成技术的进展与应用

三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台中微电子和微纳系统领域未来发展的一项核心高技术。文章详细介绍了毫米波频段三维异质异构集成技术的优势、近年来的发展趋势以及面临的挑战。利用硅基MEMS 光敏复合薄膜多层布线工艺可实现异质芯片的低损耗互连,同时三维集成高性能封装滤波器、高辐射效率封装天线等无源元件,还能很好地处理布线间的电磁兼容和芯片间的屏蔽问题。最后介绍了一款新型毫米波三维异质异构集成雷达及其在远距离生命体征探测方面的应用。     

微机械热对流倾角仪温度补偿技术研究

介绍了微机械热对流倾角仪的工作原理和结构设计,利用有限元分析软件,计算了在不同倾斜状态下二维密闭腔中点热源引起的对流场和温度场,提出了环境温度对热对流倾角仪影响的模型。根据仿真结果,在电路中增加了加热丝恒定温度控制电路,建立了基于软件的环境温度补偿算法,实现了对温度影响的补偿。经测试,环境温度从-40℃变化到60℃时,倾角仪0°输入的温度稳定性为0.07°,10°输入的温度稳定性为0.02°。     

叉指式微硅加速度计的参数化设计

详细阐述了微硅加速度计的原理,根据材料力学以及结构动力学原理,分析了叉指式驱动/检测结构的动力学模型,推导了等效质量、等效阻尼、等效刚度等关键参数模型,分析了灵敏度、横向干扰等和结构参数的关系,为微硅加速度计的优化设计与改进提供了理论指导,实现了最优化设计和仿真.     

面向表面微加工工艺的微器件设计框架的研究

本文以微器件设计为对象，对微硅表面制造驱动的微器件并行设计方法学及相应的计算机辅助设计工具的开发逻辑进行了研究，提出了采用基于三层Web-ASP集成框架实现e-CAD原型工具的编程方案，其中，并行任务流管理与控制，微器件实例及设计资源库，微加工工艺规划及仿真，微器件设计评价等是该系统实现的关键要素，在此基础上将建立网上微器件设计中心，并通过应用服务机制，实现对微器件设计工具使用的商务化，以达到降低设计成本，加快MEMS产业化之目的。     

SC2100控制系统的应用与研究

研究了SC2100控制系统在聚合物配制试验中的具体应用，介绍了该控制系统的特性和功能。在试验中通过合理选择系统工作参数，来指导该项目的生产流程正常运作。同时经试验证明：该自动控制系统具有很多优点，其功能强大，使用方便，能快速完成配比，提高注入液的配制精度，使油井增产增效，切实解决生产难题，在区块注聚试验中获显著效果。     

深层气相系统构成:据第聂伯-顿涅茨盆地同位素-地球化学资料

介绍了俄罗斯第聂伯－顿涅茨盆地不同构造－大地构造单元内深层气藏和凝析气藏甲烷碳同位素－地球化学调查结果，分析了甲烷碳同位素组成与深度、温度、压力，地质年代和含油率的关系，详细研究了甲烷碳同位素与其同系物碳同位素的关系，认为：深埋层气相系统的烃源既有有机质，又有盆地发育晚期沉降到深层的原始油藏，在以有机质为直接烃源的气相系统中，以温度为主的温压条件是构成该系统的主要条件，研究区甲烷的生成出现在超过5300m的深层，凝析气藏分布在浅于5000m深度，由原始油藏演化而形成的气相系统不仅在类型上，而且在气的碳同位素组成上均有很大差别。     

条区转向接续期间排土系统优化

以安太堡露天矿为例，指出了近水平分区开采露天矿在向新采区转向接续期间排土系统出现的问题，并提出了一些切实可行的解决办法及整体优化方案。