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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。  相似文献   

4.
利用改性沸石填充电化学反应器对30 mg/L的模拟生活氨氮污水进行处理试验研究,考察了电流密度、氯离子浓度和初始pH对该反应器处理氨氮污水的影响,并对各因素下反应器处理低浓度氨氮污水的反应结果进行了探讨与分析。结果表明,在电流密度为13.19 mA/cm2、初始pH为7.89、氯氮比为6.2时,其氨氮的去除率可达到96.71%;各因素交互作用对于该体系下氨氮去除效果影响大小为:电流密度&氯氮比>电流密度&pH>氯氮比&pH。  相似文献   
5.
三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台中微电子和微纳系统领域未来发展的一项核心高技术。文章详细介绍了毫米波频段三维异质异构集成技术的优势、近年来的发展趋势以及面临的挑战。利用硅基MEMS 光敏复合薄膜多层布线工艺可实现异质芯片的低损耗互连,同时三维集成高性能封装滤波器、高辐射效率封装天线等无源元件,还能很好地处理布线间的电磁兼容和芯片间的屏蔽问题。最后介绍了一款新型毫米波三维异质异构集成雷达及其在远距离生命体征探测方面的应用。  相似文献   
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7.
在液化天然气(LNG)接收站工程设计建设过程中,火炬系统的设计是保证LNG接收站安全生产的必要条件。以国内某LNG接收站为例,分析了LNG蒸发气(BOG)产生的因素和机理,及6种工况组合下火炬排放量的计算方法。结果表明:在工况1条件下与实际生产情况吻合良好,其对应的火炬气排放量约为142.7 t/h。在此基础上确定了:BOG支管管径为DN600,BOG总管的管径为DN900;被分离液滴的直径不大于600μm;火炬分液罐尺寸为?2.5 m×8.0 m;电加热器的功率为195 kW;火炬形式为封闭式地面火炬。研究结果可为今后LNG接收站项目火炬系统的处理能力及设备配置提供理论指导。  相似文献   
8.
研究了FANUCβi系列伺服驱动器硬件连接方法,重点分析了伺服驱动器上电的过程。依据伺服上电过程,介绍了伺服驱动器上电常见故障,并制定了故障排除的流程。最后,列举了FANUCβi系列伺服驱动器常见故障报警及排除方法。  相似文献   
9.
为了综合回收现有南非铜尾矿中的有价铁元素,在试验室对该铜尾矿进行了回收铁的可选性试验研究。研究结果表明:该铜尾矿铁品位为59.36%,磁性铁含量为57.99%,当原矿磨矿细度为-0.074 mm 58%时,经两次磁选后,可获得产率为88.95%,铁品位为65.69%,铁回收率为98.43%的铁精矿。  相似文献   
10.
采用恒电位法将镍铝水滑石、壳聚糖和碳纳米管一步电沉积在电极表面,构建了一种新型的非酶葡萄糖传感器。对制备的Ni Al-LDHs/CS/CNTs修饰电极进行了表征,并对其传感性能进行了电化学测试,结果表明该修饰电极对葡萄糖的氧化展现出优秀的电催化性能。在优化条件下,其线性范围为10μM-5.85m M,灵敏度为1.056 m A·m M-1cm-2,其最低检测限为1μM(三倍信噪比)。该传感器具有灵敏度高、重现性好、稳定性高以及抗干扰能力强等特点。  相似文献   
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