圆光栅模数转换器件采样的动态稳定参数

<正> 为了设计和制造一个高精度的步进工作台或进给装置,目前必不可少的一个环节是采用闭环控制系统,从而使光栅测长系统得到了广泛的采用,尤其是当前我国大多数旧的工艺设备面临着全面的技术改造,许多旧设备都需要通过改进提高加工精度,因而光栅测长技术有着广阔的实用领域。     

图像识别在四探针测试技术中的应用

本文介绍了在斜置式方形探针测试系统中,如何应用图像识别技术来判定探针在微区的位置,进而控制步进电机,使探针自动定位成方形结构,从而保证测试的准确性,并对测试结构对测试结果的影响,进行了初步论述.     

采用探针卡片 实现多路测试

采用探针卡片测试,是半导体器件中测的必由之路。目前国内无法制造,引进半导体设备的一些厂家配套引进一批探针卡片,均需付出几十倍的专利费。为节约外汇,我们自己动手,摸出了一套符合我国国情的制     

用于大规模集成电路的FLT-I型探针卡片

半导体器件的管芯测试,即中测,是半导体生产的重要工序之一.通常采用探针扎在被测管芯的对应压焊点上,用以接通测试回路的对应端.当探针数目超过二、三十根时(例如大规模集成电路),传统的手动探针就很难对准,加之电信号的相互干扰,分布电容的增加,以及因接触不良而加强了的感应电压,往往使测试失误.因此,采用探针卡片(probe-rcard)测试,是半导体器件中测的重要技术改革.     

无夹具式飞针在线测试仪

在传统上在线测试仪使用针床作为被测印制电路板的电信号输入输出系统,针床的探针数目有500至3000支,针床与PCB一次接触即可完成在线测试的全部要求,测试时间只要几十秒,针床式在线测试仪目前仍然是PCB生产过程的基本设备。然而,根据大量测试数据的分析结果表明,针床的探针数在500支以下和被测PCB数量不多时,经济效益是不高的。探针的机械强度要求很高,针尖耐磨和接触良好,针杆与套     

手动探针测试台的自动化设计

介绍了一种对ST-103A型手动探针测试台进行自动化改造的设计方案。在原设备的基础上,引进步进电机代替原来的手轮控制;其次,还引进了摄像头和视频采集卡技术实现对探针台的实时监控;另外,通过VC++编写上位机友好界面既提高了控制精度,又使得控制更为方便。经测试,改造后的探针测试台能实现高精度的全自动化控制。     

集成电路测试探针承片台步进电机快速启停的微处理机控制

<正> 集成电路测试探针(即自动多探针)承片台步进电机,若采用一般硬件逻辑电路实现最佳启动,电路设计是很复杂的,而且一旦需要改变启动规律时,会给硬件电路的修改带来很大的工作量。在我所即将问世的新型集成电路测试探针整机中,由于引入了以Z-80CPU芯片为核心的微处理机控制,上述问题的解决相应地变得容易多了。     

民机电子设备磁影响试验方法研究

按照RTCA/DO-160E 标准中磁影响试验要求,很难准确测量标准中要求的偏转角;由于是受测设备产生的磁场成了自由磁体的偏转,文中根据RTCA/DO-160E 标准中磁影响测试方法,提出偏转角与磁场强度的转换关系,计算出极限值;另外在测试时,受测设备的电缆的摆放方式不做要求,测量受测设备及其电缆产生的磁场强度,使得测试结果更 接近于实际工程应用。     

电吸收调制激光器集成芯片的高频测试

提出了一种精确测试电吸收调制激光器(EML)集成芯片高频特性的方法。待测芯片制作在带有微带线的热沉上,同时采用光探测器作为光电转换器,二者构成待测双口网络。被测双口网络的一端是共面线,使用微波探针作为测试夹具加载信号,另一端是同轴线,两个测试端口不同,不能采用简单的同轴校准方法校准待测系统。测试过程中采用扩展的开路-短路-负载(OSL)误差校准技术对集成器件的测试夹具微波探针进行校准,扣除了测试中使用的微波探针对集成光源高频特性的影响,同时采用光外差的方法扣除了高速光探测器的频率响应对结果的影响,得到集成光源散射参数的精确测试结果。     

微机总测晶体管分类仪

用微型计算机实现晶体管直流参数的自动测试分类的关键是如何充分利用计算机的软件功能设计高性能的测试电路以及实现分类机的准确可靠定位。这里介绍一种采用微机的晶体管总测分类仪,其测试分类精度优于0.5％,测试速度平均每个参数小于120ms。分类机的执行机构采用步进电机,并用光电定位检测的闭环控制,从而收到满意的效果。     

关于提高步进电机运行频率的研究

<正> 步进电机是把数字量转换为角位移的机电元件。它的转速与控制脉冲的频率相同步,并且随着脉冲频率的变化可以在相当宽的范围内调节。它在开环控制系统中作为传动元件使用可以得到较高的速度和精度。同时,它具有结构简单、控制方便、无积累误差,使用可靠等一系列优点。因此,步进电机在自动控制系统中得到了非常广泛的应用。 在TZ—210型自动多探针的研制中,为了使工作台的运行速度达到125mm/sec的指标,我们对提高步进电机的运行频率问题进行了研究。经过反复实验比较,数次修改方案,较好地解决了步进电机的快速启、停问题,取得了满意的结果。 为了降低成本,减小电源功耗,避免电机过热,尽量简化电路,减小静态电流,采用常     

多探针自动测试台的技术改造

介绍了将测试75 mm圆片的多探针自动测试台改造为测试100 mm圆片的多探针测试台。在原设备的基础上,重新设计加工X轴和Y轴的丝杆和导轨及承片台,控制由TP801单板机改为80C32单片机,数码管显示改为彩色液晶屏显示。改造后的探针测试台只需一次对片就能测完100 mm圆片,且控制稳定,功能更加完善,使用更为方便。     

Seica将在2006年CPCA SHOW上展示新一代飞针测系统

意大利测试设备制造商Seica公司将在2006年CPCA SHOW上展示该公司的新一代飞针测系统S20光板测试仪（S20 Bare Board Tester），该系统创造了无须制造专门夹具或者机械适配器测试印刷电路板的测试方案。系统利用四个完全独立的移动探针在被测单元两面同时进行测试（每面2跟探针）。特别适用原型板，样品板，小批量以及中等批量的测试要求。     

微电脑控制TZ—6型探针操作键盘的设计

本文重点阐述了在半导体专用设备自动控制中,如何用以Z—80CPU为芯片的微电脑实现面板操作键盘的设计。配制这种接口键盘,可达到多种控制功能,如工作台步进电机的“微动”和“连续”运行,触碰“限位开关”自动停机等,可节省大量硬件和简化装配工艺。经我们在半导体专用设备TZ—6型探针操作键盘中的使用,效果较好。     

用于曝光设备的扫描工作台技术

步进扫描曝光设备产生的抗蚀图像质量取决于晶片台与掩模台的同步性能、光学系统的质量。要获得高生产效率和０２５ μｍ 以下的分辨率能力，需要精心设计的工作台工程技术。     

用于曙光设备的扫描工作台技术

步进扫描曙光设备产生的抗蚀图像质量取决于晶片台掩模后的同步性能，光学系统的质量。要获得高生产效率和０．２５μｍ以下的分辨率能力，需要精心设计的工作台工程技术。     

爆轰实验中接触测量与非接触测量的应用对比

以爆轰实验中常用的电探针测试系统和激光干涉测速系统为例,研究接触测量与非接触测量对爆轰实验测试结果的影响。在平面爆轰波驱动金属飞片实验中,利用电探针测试飞片到达固定位置处的时刻,同时利用VISAR测试飞片飞行速度历史,对两者的测试数据进行对比分析,结果表明:光杆探针与卷筒探针的第一台阶测试结果一致,卷筒探针的第二台阶由于飞溅物等原因,比光杆探针提前导通约0.1μs;3个层面的光杆探针测试结果与任意反射表面的速度干涉仪(VISAR)测试结果一致。分析认为,在爆轰实验中,由于被测物体处于高温高压状态,且运动速度很快,接触测量产生的测力也将随之加大,在固定点位置,接触测量将对飞片上此点的后期运动产生明显影响;对于被测飞片的整体运动,由于电探针尺寸重量等远小于飞片,接触测量在固定点造成的影响对整个飞片来讲可以忽略不计,因此得到与非接触测量一致的测试结果。     

PCB电路板质量自动检测装置设计

印刷电路板(Printed circuit board,PCB)质量自动检测装置是利用电子显微镜观测和X-Y二维工作台测量PCB电路板的表面质量。X-Y二维工作台指的是能沿着X向和Y向移动的工作台。提出了二维工作台机械结构设计方案,设计中采用步进电机的开环伺服系统驱动。生产实际证明,该装置运行状态良好,生产效率高。     

ANR4型九头步进重复照相机和JUBPM50型投影光刻机

76年4月14日到24日德意志民主共和国电子、自动化和科学仪器展览会在上海展出。我们参观了叶那卡尔察尔公司展出的ANR_4型九头步进重复照相机和JUBPM50型投影光刻机,并进行了技术座谈。下面仅就这两台设备简介如下: 一、ANR4型九头步进重复照相机 (1)主要技术指标 工作台最大行程:60×60毫米; 步进重复精度:0.1微米; 累积误差:0.3微米; x、y运动方向的直线性≤0.5微米; x、y运动方向的垂直性±≤3吋; 曝光时间10～12微秒; 曝光时间内工作台移动距离:ΔS≤0.05微米;     

基于MCU和LabVIEW的深低温温度循环系统

采用控制和测试分离的方式对中科院上海技术物理研究所研制的深低温温度循环设备进行改进,由单片机(MCU)完成对步进电机和自动输液氮装置的控制,由NI数据采集卡和LabView编程来完成被测红外探测器的温度测试以及探测器各光敏元电阻的监测,这种设计方法不仅增加了对数十个光敏元电阻的自动监测功能,而且极大地了增强了深低温温度循环设备的稳定性。