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不同壳厚聚苯乙烯/氧化铈复合磨料的合成及其抛光特性 总被引:1,自引:0,他引:1
以表面带负电荷的聚苯乙烯(Polystyrene,PS)微球为内核,采用液相工艺合成不同壳厚的聚苯乙烯/氧化铈(PS/Ce02)核壳包覆结构复合磨料,并用透射电子显微镜、场发射扫描电子显微镜、激光拉曼(Raman)光谱仪、热重示差扫描量热仪和动态光散射仪等手段对样品进行表征.用原子力显微镜观察和测量抛光表面的微观形貌、轮廓及粗糙度,考察复合磨料壳厚对硅晶片热氧化层抛光性能的影响.结果表明,所制备的PS/Ce02复合磨料呈规则球形,粒径在200~250 nm,壳厚在10~30nm.化学机械抛光结果显示,PS/CeO2复合磨料对硅晶片热氧化层表现出良好的抛光特性,且复合磨料壳厚对抛光表面粗糙度和材料去除率具有较大影响.经壳厚为20 nm的复合磨料抛光后晶片表面在5μm×5 μm范围内粗糙度平均值和方均根值分别为0.196 nm和0.254 nm,材料去除率为568.2 nm/min. 相似文献
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利用固相反应方法合成了具有无机类纳米管状结构的NbS2和TaS2纳米管束,并利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射仪(XRD)等研究其表面形貌、微观结构和物相组成;利用摩擦学实验机(MS-T3000)初步研究了其摩擦学性能。结果显示所生成的NbS2和TaS2纳米管束,直径约100 nm,长约10μm。作为润滑油添加剂,在室温大气下摩擦时含NbS2和TaS2的润滑油抗磨性能明显高于无添加剂的普通润滑油,且含有TaS2的润滑油综合摩擦性能优于含NbS2的润滑油。 相似文献
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上海电子光学技术研究所新研制成功的 DXT—5型透射电子显微镜,已通过技术鉴定。DXT—5型透射电子显微镜,图象清晰、稳定;分辨率达到5 nm;加速电压为50KV;稳定度为2×10~(-4)分;纹波系数≤8×10~(-5);放大倍率是100倍至20000倍,分10档;真空度达到7×10~(-3)Pa。仪器结构紧凑,操作 相似文献
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<正> 低碳钢或低碳合金钢经淬火后,可获得低碳马氏体组织。其组织形态为尺寸大致相等且近于平行的马氏体板条,而其亚结构在电子显微镜下的特征是马氏体板条内具有高密度的位错(经电阻法测得其密度为0.3~0.9×10~(12)cm~(-2))。由于低碳马氏体的组织形态与亚结构不同于一般高碳型的片状马氏体,而使其具有相当高的强度及良好的塑韧性。(σ_s=100~130 kgf/mm~2,σ_b=120~160 kgf/mm~2和σ_5≥10%,(?)≥40%及 Ak≥6 kgf/cm~2Ak-40℃≥5kgf·M/cm~2),在工程因而 相似文献
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采用大气压介质阻挡放电等离子体枪,在低温下(350℃),以甲烷为单体,氩气为工作气体,在金属密封环表面制备一层附着牢固的类金刚石薄膜(DLC),以期改善其表面耐磨性能。利用激光拉曼(Raman)光谱分析所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析其表面形貌;利用划痕仪测量其与基体的结合力;用扫描电子显微镜(SEM)观察其划痕形貌;并利用球-盘摩擦磨损实验仪考察其耐磨性能。结果表明:在本实验工艺条件下沉积的类金刚石薄膜厚度约为500nm,薄膜均匀且致密,表面粗糙度为Ra5~6nm,其与基体结合力达到49N;制备的DLC薄膜具有优良的减摩性,其摩擦因数为0.148,较基体20CrNiMo的摩擦因数0.65明显减小,且耐磨性能得到提高。 相似文献
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将W粉和Se粉按一定比例混合并经高能球磨、压片后,在Ar气氛中加热固相反应,得到棒状纳米结构的WSe2.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM、HRTEM)分析WSe2纳米棒的组成、微观形貌和组织形态;利用UMT-2摩擦试验机考察WSe2纳米棒作为GYT130液体基础油添加剂的摩擦磨损性能.结果表明,产物WSe2为纳米棒状结构,纳米棒平均直径在100 nm以下,最小棒直径为6 nm,具有层状结构和良好的结晶性.在2N载荷、150 r/min转速条件下,质量分数7%的WSe2纳米棒作为GYT130基础油添加剂能够使摩擦因数降低近50%,45#钢试样磨痕宽度降低53%. 相似文献
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以多孔有序阳极氧化铝(AAO)为模板,采用溶胶-凝胶法制备了掺杂稀土镧的TiO2纳米管;用透射电镜、场发射扫描电子显微镜和X射线衍射仪对AAO模板和纳米管进行了表征,在此基础上分析了纳米管的形成机理.结果表明:模板法制备得到的掺杂稀土镧的TiO2纳米管管径均匀,尺寸在80~120 nm之间. 相似文献
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低碳钢或低碳合金钢经淬火后,可获得低碳马氏体组织。其组织形态为尺寸大致相等且近于平行的马氏体板条,而其亚结构在电子显微镜下的特征是马氏体板条内具有高密度的位错(经电阻法测得其密度为0.3~0.9×10~(12)cm~(-2))。由于低碳马氏体的组织形态与亚结构不同于一般高碳型的片状马氏体,而使其具有相当高的强度及良好的塑韧性。(σ_s=100~130kgf/mm~2,σ_b=120~160kgf/mm~2和σ_5≥10%,φ≥40%及Ak≥6kgf/cm~2 相似文献
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《机械工程材料》2010,(5)
以氯化铝、氢氧化钠为原料,在反应溶液的pH值为5、反应温度为200℃的条件下用液相法制备薄姆石(γ-AlOOH)纳米棒;对其在不同温度下的煅烧产物及在加热过程的热分解过程进行了分析。结果表明:试验条件下能制备出直径10~30 nm、长度100~300 nm的γ-AlOOH纳米棒;该纳米棒在500~1 200℃下煅烧后转变为γ-Al_2O_3仍保持纳米棒的形貌;在1 250℃下煅烧后转变产物为α-Al_2O_3;在1 300℃下煅烧后转变产物为α-Al_2O_3,纳米棒相互烧结形成团聚体;γ-AlOOH纳米棒的热分解过程分为物理吸附水的脱出、化学吸附水的脱出、结构水脱出并转变为氧化铝中间相、氧化铝中间相中残留羟基的脱出四个阶段。 相似文献