紫外激光在微细加工技术中的优势研究

本文主要涉及紫外激光加工技术。通过实验,将紫外/红外两种激光设备对材料的加工结果进行比较,发现在特殊材料加工上,紫外激光相对于红外激光,加工边沿更光滑、效率更高。对于用红外透过率较高的材料加工的红外器件来说,紫外激光在加工中具有明显的优势。     

1064nm和355nm激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究

为了研究不同纳秒激光工艺参量（波长、能量密度、扫描速率）以及铜层厚度对激光刻蚀覆铜板质量（包括刻蚀深度及加工面粗糙度）的影响,采用50W的1064nm红外光纤激光器和10W的355nm紫外固体激光器对覆铜板进行了对比刻蚀实验。通过分析红外、紫外激光刻蚀覆铜板材料的作用机理并对比实验结果得知,采用1064nm红外光纤激光作为激光光源时,设置合适的刻蚀参量,能在完全去除铜箔层的条件下,最大限度地保证环氧树脂基底的完整性;而采用355nm的紫外激光作为激光光源时,因环氧树脂材料对紫外波段激光的高吸收率,以及紫外激光对有机材料的光化学作用,基底材料的损伤难以避免,此外,红外光纤激光具有较高的刻蚀效率。结果表明,综合光纤激光器高稳定性和高集成度的特点,若激光直接刻蚀技术被用于大规模覆铜板的工业加工中,红外光纤激光将更具优势性。     

355nm和1064nm全固态激光器刻蚀印刷线路板

采用输出功率8 W的355 am Nd:YVO4紫外激光器和50 w的1064 nm Nd'YAG激光器对覆铜板(CCL)和柔性线路板(FPC)进行了刻蚀实验,研究了激光功率密度、重复频率、扫描速度和单脉冲能量等加工工艺参数对刻蚀质量的影响.实验结果表明,由于铜和聚合物材料对紫外激光有更高的吸收率,紫外波段的激光只需要较低的能量就可以将表面铜层刻蚀完全,并且引起的热作用也较小.相反,红外激光加工最大的优势就是对环氧树脂和聚酰亚胺基板的破坏较小,从而适合于表面铜层的去除加工.与此同时,355 nm紫外激光器由于能快速轻易地将厚聚合物基板分离,更适合于印刷线路板(PCB)的切割成型加工.     

激光刻蚀法网格化热释电红外焦平面探测器的实验研究

采用激光刻蚀的方法来实现非制冷热释电红外焦平面探测器的网格化,分别在空气中和碱溶液中使用紫外激光对钛酸锶钡(BST)材料进行划线,分析了溶液和激光参数的影响.使用KOH溶液作为辅助介质时,获得了宽为81μm,深约25μm,边缘光滑,侧壁垂直度高的微槽,已满足了实际应用要求.     

激光技术新进展及其在光伏产业中的应用

自从1960年世界上第一台红宝石激光器问世以来,激光技术有了很大的发展,已经从实验室走向应用。激光技术的一些新进展包括:光学设备和材料,从中红外到紫外波段新材料;激光应用中的新型激光源、光纤传感、激光冷却、激光加工;光伏技术:薄膜电池、有机光伏电池、高效光伏电池。重点介绍了以透明陶瓷为代表的新型激光材料,以光纤激光为代表的新型激光器结构,以掺铥光纤激光器为代表的中红外激光器;并介绍了激光技术在光伏太阳能产业中的应用。     

紫外激光在精细加工中的应用研究

论述了紫外激光加工原理,分析了其优缺点.并使用紫外脉冲激光对LTCC生瓷片、蓝宝石晶圆片、太阳能单晶硅片等材料进行了初步的激光划切工艺实验,得到了对这些不同材料加工的一些工艺参数.     

多功能隐身材料的研究与应用现状

主要介绍了红外／雷达多功能隐身材料、红外／激光多功能隐身材料和激光／雷达多功能隐身材料的隐身原理，材料种类以及应用现状，并指出了多功能隐身材料的发展趋势。     

中红外激光对红外探测系统的干扰试验研究

通过在实验室利用中红外激光干扰红外探测系统获得的数据表明,当入射到探测器上的激光功率密度达到8.15 W/cm2时,可以实现对红外探测器的串扰,当功率密度达到1.63×102 W/cm2时,实现全屏饱和.在饱和串扰过程中,跟踪目标丢失,实现了对红外探测系统的干扰.     

紫外激光作用频率对吸收玻璃的微孔加工研究

采用紫外激光烧蚀材料微孔具有效率高,成本低等优势.本文主要研究了在固定激光脉冲能量下,紫外激光脉冲重复频率对吸收玻璃的微孔加工特性的影响.研究发现,紫外重复脉冲对材料的去除主要是基于单脉冲效应:频率较低时,相应单脉冲的能量较大,激光烧蚀材料所产生的温度较高,激光等离子体冲击效应较强,这样将引起孔周围断裂;随着脉冲作用频率的增加以及相应能量的减小,热效应减小,使得烧蚀孔周围的断裂痕迹逐渐消失,且孔深度方向逐渐变浅.通过控制脉冲作用频率可以实现对孔的定性烧蚀.     

反红外导弹装备中的激光技术

红外导弹威胁的日趋严重，迫使人们开发出先进的采用激光技术的红外对抗手段，即激光致盲和相干光定向红外对抗，从而更有效地对抗新一代红外导弹。由于现代导弹多工作在中波红外，所以，工作在中波红外波段的激光器就成为激光致盲武器和相干光定向红外对抗研制中的关键问题。本文研究了红外对抗中的激光器技术，细致分析了强激光对红外传感器致盲原理，综述了国外激光致盲武器和相干光定向红外对抗的发展现状。