光固化成形系统激光束光斑的在线检测与位置补偿

针对光固化成形系统中聚焦在扫描面的激光束光斑零点漂移和增益漂移的问题，本文论述了一种检测激光光斑轮廓和位置的方法，并提出对激光束光斑零点漂移和增益漂移误差的补偿方法。     

光固化成形系统激光光斑光强分布检测方法研究

激光束的模式及光强分布对光固化成形制件质量的影响很大。本文采用针孔矩阵扫描方法。检测激光束投射在工作平面上的光斑，并经过数据处理获得光斑的二维和三维的光斑分布图像。该方法获得的数据既可对光斑进行定量分析也可用于定性分析。     

湍流大气中激光束漂移的实验研究

利用阵列探测系统进行了聚焦激光束光斑漂移的实验研究.与图像法相比,在动态范围和采样率两方面得到了改善.近地面传播路径的实验结果表明:铅直方向的漂移量略大于水平方向的漂移量;在晴朗天气以及较大的湍流强度下,测量结果与理论结果定量吻合,其变化趋势与闪烁大致相同;而在其他条件下,二者变化特征可能明显不同;漂移谱密度在三个典型的频率范围内呈幂函数变化关系,幂指数分别约为-1.2,-2.4和-4.8.     

变包含角平面光栅单色器的性能检测

针对高分辨变包含角平面光栅单色器(VAPGM)工作在超高真空环境下需具有极高的精度,本文基于自准直法.研究了VAPGM波长扫描机构转角精度、光斑水平漂移重复精度以及光栅切换机构重复精度的检测方法.利用该方法完成了VAPGM的离线检测,其中,波长扫描机构平面镜(PM)和平面光栅(PG)的转角精度检测结果分别为0.19"、...     

水下激光光斑漂移的一种检测方法

由于水下激光探测的日趋成熟,要提高探测精度,就要解决激光光束的漂移问题.而一般的光斑漂移检测多采用运算量较大并且复杂的数值计算的方法,文中通过采用直接对光斑图像进行处理计算的方法得到激光光斑中心漂移量及其概率密度分布.     

电子束偏放输出温度漂移的自动补偿

分析了ＳＤＳ－２多功能电子束扫描系统输出温度漂移的主要因素,经过理论分析提出了一种减少温度漂移的有效方法,实验表明此方法有很好的温度漂移的自动补偿。     

光导管暗电阻时间漂移特性的动态补偿

为了消除光导管暗电阻时间漂移特性对测量结果造成的影响,提出了一种动态补偿方法。将该方法应用于对红外水分仪中PbS光导管的输出信号进行即时修正,较好地克服了PbS光导管暗电阻时间漂移特性的影响。本文所介绍的动态补偿法,原理简单易行,对提高检测系统的稳定性和精确度具有明显的技术应用价值。     

加速自校正直流漂移的可编程增益放大器

设计了一种应用于移动数字多媒体广播系统终端的可编程增益放大器.该可编程增益放大器采用源极反馈电阻可变的差分放大器结构,且带有直流漂移校正电路.分析了校正直流漂移时间的决定因素,通过采用双带宽切换的方法加速校正过程.分析了引发输出直流漂移发生变化的因素,设计了增益控制信号触发的双带宽控制信号发生电路.可编程增益放大器采用TSMC 0.25μm CMOS工艺.仿真结果表明,放大器的动态范围为30~84db,2db步进,对输入直流漂移的校正效果为-21.45db,加速后的直流漂移校正时间约15μs.     

牛奶成分近红外光谱分析中系统漂移的补偿

为实现牛奶中蛋白质、脂肪等成分含量的快速无损检测,本文论述了采用近红外漫反 射光谱(1000～1700nm) 分析牛奶主要成分含量的基本方法,定量分析了仪器信噪比与系统测量误差之间的传递关系。在此基础上,进一步探讨了采用双光路设计以及参考液光谱自动校正方法消除系统漂移的可行性。实验结果表明:采用参考液光谱自动校正方法可以有效地克服系统漂移,校正后脂肪、蛋白质的实际预测相对偏差(RMSEP) 与参考值平均值之比分别降低了0. 14 %和0. 72 %。     

脉冲激光干扰面阵CCD成像系统的实验研究

为了研究脉冲激光对面阵CCD的干扰效果,采用近场模拟实验的方法,设计了重复频率脉冲激光干扰CCD成像器件近场实验。当CCD器件表面接收激光功率密度达到2.97mJ/cm2时,观察和记录了CCD器件串音饱和现象;当CCD摄像机电子快门打开时,除发射窗口有激光光斑图像外,激光脉冲在激光器出光口竖直方向也会形成偏离出光口位置的漂移光斑图像。分析了CCD摄像机电子快门作用机理及图像信号转移方式机理,并对光斑漂移现象给出了合理解释。结果表明,重复频率脉冲激光可使CCD图像上出现漂移光斑而对图像形成干扰。这为重频脉冲激光干扰CCD的研究提供了理论基础和初步实验验证。     

AFM非线性测量的影响因素分析

原子力显微镜（AFM）已经广泛应用于纳米科技领域。为获得准确的测量结果,对AFM非线性进行测量和校正是非常必要的。AFM非线性的测量方法有电容测微仪法、激光干涉法和扫描图像相关分析法等,其中图像相关分析法具有原位和简单等优点。本文应用图像相关方法,对不同漂移速率和扫描面积情况下的非线性测量结果进行实验对比分析。结果表明,漂移速率和扫描面积是影响图像相关法测量AFM非线性准确性的重要因素。     

折射式扫描系统设计及应用

分析异形微孔激光加工的现状,开展了折射式扫描系统的设计和应用研究。利用振镜电机快速改变折射式光学元件组相对激光束光轴的角度,从而精确控制激光聚焦光斑在加工面上的微小位移值。这种加工方式既保留了振镜扫描定位速度快,加工轨迹控制简便,可以实现各种异形孔加工的优势;又通过折射式光学元件组将传统反射式振镜扫描系统的几十毫米的加工范围精确缩微至几百微米,这种百倍级的光学缩微系统大幅度降低了高速振镜电机的角度分辨率、热漂移、零点漂移带来的影响,从而保证了激光加工的高精度定位和重复性。     

A specimen-drift-free EDX mapping system in a STEM for observing two-dimensional profiles of low dose elements in fine semiconductor devices

We developed a specimen-drift-free energy-dispersive X-ray (EDX) mapping system in a scanning transmission electron microscope (STEM) to improve the sensitivity and spatial resolution of EDX elemental mapping images. The amount of specimen drift was analysed from two STEM images before and after specimen drift by using the phase-correlation method, and was compensated for with an image-shift deflector of the STEM by the displacement of the scanning electron beam. We applied this system to observe the two-dimensional distribution of low dose arsenic in silicon semiconductor devices. The sensitivity of the elemental mapping was improved to several tenths atomic % for arsenic atoms while maintaining a spatial resolution of 2 nm.     

波长扫描光纤干涉仪动态扫描特性的研究

建立了用于绝对距离测量的波长扫描光纤干涉仪实验系统。采用了可调谐外腔半导体激光器作为波长扫描光源。研究了光源扫描过程中，输出光功率，波长的动态特性。分析了波长扫描随机漂移的来源及其统计分布，得到了其分布参数对输出信号的影响，为系统的优化设计提供了理论依据。     

激光扫描成像中旋转多面体的分析计算

对旋转多面体激光扫描成像系统作了理论描述及定量分析。为了保证扫描像点处于同一平面,将多面体置于成像物镜之前,当激光束以相对于光学系统光轴为2α角入射时,确定了入射光在多面体反射面上的位置、多面体中心转轴以及光学系统光轴三者之间的相对位置关系。推导了系统光学扫描角、扫描效率和入瞳漂移等参数的数学公式,分析了它们与入射光直径、入射角、多面体几何尺寸等因素之间的变化关系。结果表明,为减小系统的入瞳漂移和增大扫描效率,应以较小的入射角入射;进行系统设计时,若给定扫描角,扫描效率一般选择在0.4～0.7范围内较合理。     

Long term thermal drift study on SPM scanners

Scanning Probe Microscopy (SPM) imaging process is inherently slow, and commonly suffers from instrumental drift. According to experience, drift is a time dependent phenomenon and therefore it influences measurement results obtained using the instruments for long periods of time, e.g. when high resolution imaging is performed by taking many profiles. Evaluation and control of actuator drift is an important issue for high accuracy measurements. In particular, a better probe positioning can be obtained through characterization of the scanning system’s metrological performance, and distinguishing systematic and stochastic behavior components. In this work, a new approach is proposed to study long term thermal phenomena, correlating them to SPM scanner drift distortions evaluated using calibrated reference samples. Long term drift evaluation is then cross-correlated to thermal analyses carried out in parallel by means of an infrared-camera. Eventually, it is discussed how the investigations here presented may be used to improve the instrument set-up in order to reduce measurement uncertainty.     

基于实时校准技术的光纤光栅传感解调系统

报道了一种采用实时校准技术的数字化光纤光栅传感解调方案。解调系统利用锯齿波电压信号和数字相位同步信号控制可调谐光纤法布里一珀罗(TFFP)滤波器，对光纤光栅传感器阵列进行扫描式寻址，同时采用非测量环境中的参考光栅和数字温度计提供精确的参考波长，并由高速数字信号处理器(DSP)实时校准滤波器的波长读取值，很好地消除了滤波器渊谐的温度漂移、非线性和蠕动性引起的测量误差。结果表明，实验系统的波长寻址范围为1520～1570nm，扫描频率为100Hz，波长测量分辨率为5pm，应变测量分辨率为4．13με。     

Learning Association Rules and Tracking the Changing Concepts on Webpages: An Effective Pornographic Websites Filtering Approach

We applied the decision tree algorithm to learn association rules between webpage’s category (pornographic or normal) and the critical features. Based on these rules, we proposed an efficient method of filtering pornographic webpages with the following major advantages: 1) a weighted window-based technique was proposed to estimate for the condition of concept drift for the keywords found recently in pornographic webpages; 2) checking only contexts of webpages without scanning pictures; 3) an incremental learning mechanism was designed to incrementally update the pornographic keyword database.