极高真空溅射离子泵的研制

研制出了获得极高真空的溅射离子泵，该溅射离子泵４小时烘共烤后温度降至１００℃，装磁钢，妄动离子泵进行敢，３４小时后压力达５．８×１０＾－１０Ｐａ。从抽速实验结果来看，该泵在１０＾１０Ｐａ时仍有１００Ｌ／ｓ的抽速。说明此泵在较 压力下仍有较强的潘宁放电。     

合肥光源真空控制系统

合肥光源（HLS）是第二代专用同步辐射光源，由200MeV直线加速器、输运线和800MeV电子储存环组成。真空控制系统是基于EPICS（Experimental Physicsand Industrial Control System）的分布式控制系统，3台10C分别控制储存环上的7台Varian真空规控制器、直线加速器上的15台溅射离子泵电源控制器和输运线上16台溅射离子泵的电源控制器。采用Channel Arciver实现了储存环真空度及直线输运线溅射离子泵离子流数据的采集、存档及检索的功能。利用开发的CGI程序，改善了数据检索的性能，并对合肥光源储存环真空管道的束流清洗过程进行了分析。     

获得2.9×10~(-10)Pa的三极溅射离子泵

我所为完成原第一机械工业部下达的７２１８１超高真空技术研究课题，研制了Ｌ－１００型三极溅计射离子泵。经试验、鉴定，该泵抽速为１６０Ｌ／ｓ，极限真空为２．９×１０－１０Ｐａ（ＳＧ－４型冷磁控极高真空测量），并成功地应用到为航天工业部某单位研制的ＪＷＺ－１００型静电支承仪表无油超高真空排气台上做为主泵。该排气台系统极限真空达到５．５×１０－８Ｐａ。     

北京正负电子对撞机储存环真空系统运行和改进

目前BEPC储存环真空系统已经运行了十五年,系统运行良好,当有束流存在时,储存环的平均动态压强低于2.6×10-7Pa,束流寿命大于10 h。尽管真空系统部件多,结构复杂,但由于真空泄漏造成停机的次数并不多,大多数的泄漏能在抽真空和系统检漏期间排除。为了提高北京正负电子对撞机的性能,BEPC储存环真空系统进行了一系列的改进,例如,重新改造铝真空盒用来引出同步辐射光束线,在正负电子对撞区安装NEG泵来提高真空度。特别是真空内的扭摆磁铁被安装到储存环真空系统,通过在永久磁块表面镀氮化钛和合理的排气技术,静态压强已经达到了2.6×10-8Pa。     

微型复合溅射离子泵的设计研究

本文介绍了一种非蒸散型吸气剂（NEG）与微型溅射离子泵（SIP）集成构成的微型复合溅射离子泵。测试结果表明，当吸气剂激活后，复合泵的抽速达到0．45L／8，比未加吸气剂的同型溅射离子泵抽速提高了28％。该复合泵使真空器件的真空维持效果良好，可广泛应用于中小型的密闭真空器件中。     

兰州重离子加速器真空系统的设计问题

兰州重离子加速器是串列回旋加速器系统，用以加速从氢到氙的重离子。注入回旋加速器真空系统利用了原有油扩散泵。主回旋加速器真空系统是由一台１００立方米真空室和一套相应的超高真空系统组成的。本文介绍了主回旋加速器真空系统的设计要求、选取的设备和运行情况。选用的八台ＢＡＬＺＥＲＳ ＲＫＰ８００低温泵具有总抽速１６０ｍ２／ｓ，可满足设计气载的要求，在真空室内获得１０－６Ｐａ真空．两台ＰＦＦＥ　ＩＦＥＲ　ＴＰＨ５０００涡轮分子泵组成辅助排气系统．另外还有粗抽系统和液氮流程。全系统已于 １９８６年９月建成并投入运行。其性能满足设计要求．     

10^—10Pa溅射离子泵的研制

本文主要介绍１０－１０Ｐａ溅射离子泵的研制，提高极限真空和抽气速率的方法。     

论不锈钢容器中烘烤对出气率与抽速关系的影响

为了研究真空系统中烘烤时对出气率与抽速关系的影响，在室温条件下未经烘烤和在室温条件下经过温度为１００℃和２５０℃烘烤的情况下，对出气率与抽速的关系进行了测量。测量所得出气率ｑ（Ｔｏｒｒ，ｌ／ｓ，ｃｍ＾２）遵循指数规律：ｑ＝（Ｃｓ／Ａ）＾ｍ，其中，ｃ和ｍ（０〈ｍ〈１）为常数：Ｓ／Ａ为抽气参数，其定义为抽速Ｓ（ｌ／ｓ）与真空容器表面积Ａ（ｃｍ＾２）之比，Ｓ／Ａ的变化范围从２．４６×１０＾－５到１．２６     

BEPC贮存环超高真空系统高灵敏度的四极质谱计检漏方法

北京正负电子对撞机（ＢＥＰＣ）贮存环超高真空系统长约２４０米，由八个区段组成。 安装后经必要的常规氦质谱检漏和消除这些漏之后，真空度在烘烤前后分别达到１０－７帕 和１０－８帕。在此基础上做了如下工作。当离子泵系统存在微漏与一般漏（与系统的体 积和泵的抽速比较）时，漏入空气的成分在残气质谱图上有明显的差别。本文解释并利 用了这一现象，对系统进行高灵敏度检漏。     

原子能院自由电子激光器真空系统

介绍中国原子能科学研究院自由电子激光器的真空系统。激光器由Ｌ波段行波电子直线加速器、束流输运系统和包含１．５ｍ援摆器的光学谐振腔组成,１０台钛油射离子泵分布在各段以获得并保持超高真空。     

北京正负电子对撞机（BEPC）储存环B—A规测量抗干扰的实验研究

ＢＥＰＣ运行７年来，储存环超高真空系统平均本底真空一直优于６．７×１０－８Ｐａ，环真空测量采用Ｂ－Ａ规通过１００ｍ长电缆线输入信号到真空计，观察真空计的测量读数来监视真空。在运行中，环上有１／４的真空测量点受干扰，造成测量读数为０，严重影响环超高真空系统的监测，也无法求环平均动态真空的准确度。本文介绍一种采用新型收集极电缆线和在系统内加金属网抗干扰措施的实验研究。结果表明，干扰来自两方面：其一是冲击磁铁（Ｋ铁）的脉冲磁场，以及Ｋ铁高压引出线周围的电磁波辐射；其二是束流在Ｋ铁内激发的高次模式电磁波。在实验中，分析研究了干扰的来源，为采取更好的抗干扰措施提供了依据     

溅射离子泵电流采样方法监测超高真空系统

介绍用溅射离子泵的电流采样来监测大型超高真空系统的原理和方法，并介绍新设计的一种具体电路，讨论了其特点和使用中的注意事项．     

用带冷阱的油封机械泵启动溅射离子泵

溅射离子泵房动时,需要预真空,其值因泵而异。对于准无油溅射离子泵系统及有液氮来源的部门来说,使用油封机械泵加液氮冷阱来启动溅射离子泵是比较理想的。这种方法不仅可以使返油率降低99％.而且运转方便.使用过程中没有粉尘,不需要前处理工序。     

真空紫外单色仪光栅机构

本文介绍了真空紫外单色仪光栅机构及光栅室的结构特点及性能。光栅机构在真空 中完成两个功能，第一是在正弦机构的驱动下，通过正弦杆使光栅转动，实现波长扫 描；第二个作用是通过旋转导入器而实现的光栅切换，以满足不同波长的分光要求。该 机构要求工作在超高真空环境中，真空度为５×１０－１０Ｔｏｒｒ．现已用于合肥同步辐射实 验室的Ｕ１０Ａ光束线的ＳＥＹＡ—ＮＡＭＩＯＫＡ单色仪。     

大型金属超高超人空系统检漏的特点和方法

阐述大型系统超高空获得及运行过程检漏工作的几个特点。对结构复杂的真空室，如何使用分子筛吸附泵与氦质谱检漏仪相结合提高检漏灵敏度，极大限度地找出泄漏的位置，还指出大型金属超高真空系统运行过程和如何根据溅射离子泵离子流的数据，判断真空系统漏气及寻找漏点的方法。     

上海光源储存环真空系统

上海光源储存环真空系统已于2007年底建成并开始运行.这个真空系统采用了双室结构的薄壁不锈钢真空室,其尺寸公差都小于1mm,真空室安装位置公差都小于2mm;分散的吸收器有序排列在抽气室内,把同步辐射光准直并引入光束线,同时吸收废弃的同步辐射光,把热量转移到真空室外;波纹管内的高频屏蔽机构为单指型,避免了指间接触力和磨擦;(SIP+NEG)复合泵、SIP和TSP共用,采用合理的激活NEG泵和升华钛丝的工艺程序,提供了强大的抽速和容量.真空预调试时各段真空室内的极限真空都达到5×10 -9Pa.全环真空室安装并连通后,大部分真空室不烘烤,只烘烤全环真空泵的情况下,极限真空达到2×10 -8Pa.储存环运行在束流剂量260Ah、能量3.5GeV、流强220mA时,动态压强为0.8×10 -7Pa,束流寿命21h,达到了真空系统的设计指标1.33×10 -7Pa.     

超导波荡器热负荷测试装置超高真空系统

介绍了超导波荡器热负荷测试装置超高真空系统的设计、调试。通过离子泵、吸气剂泵以及系统低温冷凝面的联合抽气作用,使系统在常温下获得7.8×10-8Pa的真空度,在低温下能够获得1.7×10-8Pa的真空度,满足光源储存环真空系统1.3×10-7Pa的真空度要求。     

上海光源(SSRF)输运线真空系统设计

本文介绍了上海光源高能输运线和低能输运线真空系统设计,包括总体布局,真空盒的结构和真空获得系统.低能输运线由两个弯段和三个直线段组成,高能输运线由五个弯段和四个直线段组成.用有限元方法分析计算了输运线弯段真空盒的大气负载变形,以确定真空盒的形状和尺寸,结果变形量小于0.15 mm.通过模拟输运线全段真空盒的压强分布来优化泵系统的布局,结果表明全线压强小于6×10-6 Pa.因此真空系统的设计方案能满足物理指标和实际工程要求.     

溅射离子泵电流采样方法监测超高真空系统

介绍用溅射离子泵的电流采样来监测大型超高真空系统的原理和方法，并介绍新设计的一种具体电路。讨论了其特点和使用中的注意事项。     

GexSi1-x材料生长的改善

利用超高真空化学相淀积（ＵＨＶ／ＣＶＤ）系统在６５０℃生长出表面光亮的ＧｅＳｉ单晶。在１２００Ｌ／ｍｉｎ分子泵与前级机械泵间串接４５０Ｌ／ｍｉｎ分子泵,改善了生长环境。串接分子泵后生长的样品的Ｘ射线双晶衍射分析表明,外延层衍射峰半宽仅为１９８ａｒｃｓｅｃ,且出现了Ｐｅｎｄｅｌｌｏｓｕｎｇ干涉条纹,说明外延层结晶质量很好。