半导体芯片电路线宽显微测量精度分析

在显微图像的尺寸测量中．由于各种因素的影响．测量结果不可避免地存在着误差．为了充分认识并进而减小这些误差，提高测量精度．文章对标准件标定、显微光学系统的景深、对焦、光照亮度以及温度等影响测量结果的误差源作了细致的研究，给出了半导体芯片电路线宽显微测量结果及精度分析。     

图像测量系统精度影响因素的研究

在图像测量系统中,边缘检测的定位精度是最终测量精度的关键,国内外很多学者对该问题进行了广泛的研究,提出了各种边缘检测的方法,但是各种方法的定位精度的优劣都自圆其说,难以验证.也有很多学者对各种算法进行了对比研究.但使用的评价图像与实际系统采集的图像相差甚远.为了进一步提高图像测量系统的测量精度,本文针对误差的来源,主要有:硬件因素、环境因素、软件因素等进行了研究分析.并就这些误差对图像测量系统测量精度的影响和消除或减小误差的有效方法做以介绍及分析.从而提高测量精度.     

提高装载机自动测重装置测量精度的设计

自动测重装置是安装在装载机上用于实时自动测量装载机装载货物重量的仪器。提高测量精度是装载机自动测重装置设计过程中的一个重要环节，分析了在装载机自动测重装置设计过程中的各种误差，并提出了克服各种误差和干扰的设计方案。实际应用表明，本装置具有集成度高，测量精度和可靠性高等特点。     

基于全站仪的高精度动态航向初始标校系统设计

提出了基于全站仪的两点测角测距一航向测量模型,设计并实现了基于该模型的高精度动态航向初始标校系统。根据航向测量模型,对观测误差进行了分析,分析了动态误差形成的原因,建立了误差模型,并设计了动态精度试验。试验结果表明．在动态条件下．系统达到了≤30”的测量精度,满足对包括高精度GPS姿态测量系统、平台罗经在内的高精度导航设备进行初始标校的精度要求。     

基于相机定标与亚像素算法的二维图像测量系统

介绍了一种采用数码相机的二维图像测量系统。提出分别消除透视误差与透镜像差实现精密二维图像测量的完整解决方案．并详细说明了利用标定技术消除成像系统像差以及利用亚像素技术提高系统测量精度的方法。实验结果证明,该方法具有更高的测量精度。     

高精度活塞自动分选打字机CAT系统研制

介绍了为东风汽车公司研制的活塞自动分选打字机的ＣＡＴ系统及其软硬件原理。该仪器是由美国引进的康明斯生产线配套的高精度测试仪器，用于测量活塞３个断面的大径尺寸，并根据测量结果打印相应字样。该仪器的测量精度为１．５μｍ，并具有微机控制，中显示，数据处理和故障自然功能。     

光栅数显装置的非线性补偿方法研究

以提高光栅测量系统的精度为目的,提出一种基于光栅数显装置的非线性补偿方法。采用实时误差分离技术来对光栅测量误差进行修正的,通过采样点建立误差修正的数学模型,根据数学模型实现对任意测量值的误差修正。实验结果表明,该方法可有效解决由光栅本身的制造误差、光电转换部分误差及外界环境的振动、温度变化等因素带来影响光栅测量系统精度的问题,从而可大幅度地提高光栅测量系统的精度,而且这种补偿方法不但算法简单方便且经济成本较低,完全能够满足大部分光栅测量系统对于测量精度的要求。     

微小物体转动惯量测量机理与实现方法研究

为了实现对微小物体(100ｇ~ 500ｇ)转动惯量的测量,搭建了微小物体质心及转动惯量测量装置,对该装置的测量原理、误差分析、结构参数等进行了研究。首先,对多种质心及转动惯量测量方法进行分析,对比优缺点以及适用范围,选择合适的测量方法。然后针对质心及转动惯量测量的数学模型,进行误差分析,分析不同因素对测量结果的影响,根据分析结果,进行装置机械结构的设计,并对结构进行校验和优化。最后进行实物加工及测量装置搭建,校验测量装置的测量精度和重复性精度。实验结果表明,测量装置的质心测量精度为 0.8％,转动惯量测量精度为 1.0％,重复性精度为1.0％,测量装置满足对微小物体质心及转动惯量测量的稳定可靠、高精度、高重复性的要求。     

一种电缆测井深度测量校正方法

马丁代克深度测量系统是电缆测井中测量井深的专业设备,深度轮作为该测量系统的重要组成部分,它的误差将直接影响电缆测井的深度信息。因此需要对深度测量系统进行定期校正。通过分析马丁代克测量系统的误差来源,提出了采用光栅尺作为测量系统的校正仪器,通过模拟深度轮在测井过程中电缆所受的拉力、运动方式、扭转等实际情况,克服了传统校正方法仅仅考虑单一因素、效率低、精度不高等不足。实验表明该方法具有重复校正结果一致性好、校正速度快、精度高等优点,具有一定的工程实际应用意义。     

纸张切割非接触式成像定位测量方法与应用系统

为了探索纸张切割非接触式成像定位测量的新途径，以替代传统的接触式测量方式，提出一种利用图像分割，图像匹配和测量技术的纸张切割非接触式定位测量方法，分析和探讨涉及图像处理关键技术，并进一步分析了测量的精度和误差产生的因素。实验结果表明，该测量方法测量时间小于0．5s，测量精度为7min，从而为物体在线测量与定位提供了一种新的方案。     

结构光视觉系统误差分析与参数优化

为提高结构光视觉系统的测量精度,建立了结构光视觉系统中结构参数对测量精度的影响模型.通过分析图像识别误差对结构光视觉系统测量精度的影响,导入结构光平面与摄像机光轴之间的夹角、测量物距、摄像机焦距等参数与测量误差之间的关系,建立相应的误差模型并确定各项参数对测量精度的影响.上述所有因素对测量精度的影响均通过实验验证,对结构光视觉系统的设计和使用具有一定的指导作用.     

多关节柔性三坐标测量系统误差分析研究

为了克服传统三坐标测量系统的体积大、结构复杂、不能现场测量等缺点,研制开发一种新颖的基于旋转关节和转动手臂的多关节柔性三坐标测量系统.首先基于Denavit-Hartenberg方法建立了多关节柔性三坐标测量系统的理想数学模型,在考虑到结构误差基础上修正得到误差模型,最后详细分析系统中影响测量结果的各种误差因素.仿真实验结果表明数学模型的正确性,并为进一步研究系统的误差补偿和提高测量精度提供了理论基础.     

超声波流量测量的误差分析与补偿方法研究

为了提高超声波流量测量的精度,分析了影响测量精度的因素,对温度、流速和管道内置反射片所造成的测量误差进行了分析,提出了具体的误差修正补偿方法。实验表明：对上述影响因素产生的误差进行补偿与修正后,能够有效减小测量误差,提高测量精度。     

高精度轴角测量系统

介绍自整角机的基本工作原理以及由粗、精双支路组成的高精度轴角测量系统。文中同时对系统精度和假零点误差也进行了分析。     

拉线式机器人末端定位精度测量系统

设计了一种基于拉线式编码器的机械式测量系统,可用于标定机器人末端定位精度和轨迹误差测量,该系统具有结构简单,操作方便,对测量环境要求低的特点。该系统基于三边测量技术原理,通过LabVIEW开发的上位机软件同步采集机器人连续运动状态下的编码器实时反馈数据,经过误差补偿、分析处理后,可实时计算机器人末端执行器的位置、速度、加速度等性能参数,并对影响系统精度的因素进行分析,利用冗余数据对测量结果进行了优化与改进。     

测量单元的干扰、抗干扰分析及解决方案

本文以一种常用的测温电路为例,重点分析了测量、放大环节以及一些因不规则的随机噪声信号影响测量精度的因素,有针对性的提出了通过软硬件设计来补偿其误差,从而达到自动校正测量精度的目的。     

基于DSP的时栅位移传感器误差在线处理与系统设计

概要分析时栅传感器的幅值误差、正交误差、相移误差等误差因素以及其对检测精度的影响,给出了对上述各误差进行在线检测的方法,同时通过信号合成、数字滤波与延迟补偿等方法联合消除误差影响,提高了系统测量精度。为实现上述方法,进而提出一种以DSP为处理核心的新型一体化系统信号处理解决方案。该方案将信号产生、数据采样控制、误差检测、位移解算与误差修正等数据处理集成到一片DSP内,压缩了系统硬件空间,提高了系统综合性能。实验表明:经过误差处理后,72对极传感器系统的误差从±128.4″减少至±1.7″。     

利用CPSO-RBF神经网络的电流互感器自动测试校正研究

在测量领域中,传感器与测量电路一般都不可避免地存在残余电压与零点漂移,即零点误差。对零点误差的处理是提高仪器测量精度的一个关键措施。以电流互感器自动测试系统为研究对象,提出了一种基于协同粒子群算法的RBF神经网络,以自适应地处理测试系统的零点误差。实验结果表明,该措施能够有效地抑制零点误差,提高仪器测量精度。     

基于DSP的时栅位移传感器误差处理与系统设计

摘 要：概要分析时栅传感器的幅值误差、正交误差、相移误差等误差因素以及其对检测精度的影响,给出了对上述各误差进行在线检测的方法,同时通过信号合成、数字滤波与延迟补偿等方法联合消除误差影响,提高了系统测量精度。为实现上述方法,进而提出一种以DSP为处理核心的新型一体化系统信号处理解决方案。该方案将信号产生、数据采样控制、误差检测、位移解算与误差修正等数据处理集成到一片DSP内,压缩了系统硬件空间,提高了系统综合性能。实验表明：经过误差处理后,72对极传感器系统的误差从±128.4″减少至±1.7″。     

用于机器人柔性坐标测量系统的视觉传感器设计

视觉传感器作为机器人柔性视觉坐标测量系统最重要的组成部分之一,直接影响测量系统的精度、适应性.针对机器人柔性坐标测量系统的需要,提出了两步法测量空间形状的原理和数学模型,设计了一种线结构光单目视觉传感器,对其测量结果进行了误差分析,并用实验的方法证明了该传感器精度适中,体积小,重量轻,可以满足工业现场在线测量的需要.