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相似文献
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1.
利用射频磁控溅射方法,在n型(100)Si基底上沉积了氮化硼(BN)薄膜,并在超高真空系统中测量了BN薄膜的场发射特性.研究发现,沉积时工作气压的变化对BN薄膜的场发射特性有很大影响,工作气压为2Pa时沉积的BN薄膜样品的场发射特性较好,其阈值电场为6V/μm,场发射电流为320μA/cm^2.F—N曲线表明,在外加电场的作用下,电子是通过隧道效应穿透BN薄膜表面势垒发射到真空的.  相似文献   

2.
利用射频磁控溅射方法,在硅尖上沉积了氮化硼(BN)薄膜.红外光谱分析表明,BN薄膜结构为六角BN(h-BN)相(1380cm^-1和780cm^-1).在超高真空系统中测量了BN薄膜的场发射特性,与沉积在硅片上的BN薄膜比较,沉积在硅尖上的BN薄膜的场发射特性明显提高.开启电场为8V/μm,最高发射电流为300μA/cm^2.沉积在硅尖上的BN薄膜的场发射FN曲线为两段直线,这可能是由于电子发射源于硅尖的尖部和根部造成的.  相似文献   

3.
利用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法在Si衬底上生长了4μm厚的金刚石膜,然后利用射频磁控溅射方法在金刚石膜上沉积了100nm厚的六角氮化硼(h—BN)薄膜.在超高真空系统中测试了覆盖氮化硼(BN)薄膜前后金刚石膜的场发射特性,结果表明覆盖BN薄膜后的金刚石膜的场发射特性明显提高,开启电场由14V/μm升到8V/μm.F—N曲线表明,覆盖BN薄膜后的金刚石膜在强电场区域的场增强因子有所降低,这可能归因于场发射点随着电场的增强而改变.  相似文献   

4.
采用磁控溅射离子镀制备Cr-N薄膜,研究基体偏压对Cr-N薄膜组织结构和性能的影响。分别用辉光放电光电子谱(GDOES)、场发射扫描电镜(FESEM)和X射线衍射(XRD)分析薄膜成分和组织结构,显微硬度计测量薄膜硬度。结果表明,薄膜为非化学计量比的Cr-N薄膜,N/Cr原子比均小于0.25,薄膜主要以Cr的衍射峰为主。在偏压达到60 V后薄膜显示了较高的硬度(25 GPa),其归因于离子轰击导致的薄膜的致密度的提高。偏压超过60 V后,致密度达到饱和,硬度增加不明显。  相似文献   

5.
氮化铝(Al N)是一种宽禁带深紫外半导体材料,其良好的性能可作为紫外固态光源。采用射频磁控溅射法,在p型Si(100)衬底上制备了Al N薄膜。通过X射线衍射分析(XRD)、紫外-可见光光谱(UV-Vis)、场发射测试对制备的Al N薄膜进行了测试分析,针对薄膜生长特性对光吸收的影响及其场发射性能进行了研究。结果显示:在Si衬底上成功的制备了高度(002)取向的Al N薄膜,薄膜在230~250nm间有强紫外吸收,阈值电场为6.39V/μm。场发射测试结果表明,磁控溅射法制备的Al N薄膜具备良好的场发射性。  相似文献   

6.
SiC薄膜生长过程中的偏压作用   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用分步偏压溅射法,在Si(100)衬底上制备了高质量的SiC薄膜. 傅里叶红外(FTIR)光谱测试表明,分步偏压法不仅有利于提高SiC薄膜的生长速率,同时也有利于SiC薄膜的成核生长. 通过原子力显微镜(AFM)观察到,单一偏压法制备的样品表面有许多的凹坑,而分步偏压法制备的样品表面则没有出现明显的凹坑. 因此,采用分步偏压溅射法不仅可以提高薄膜的生长速率,同时也可以减小对薄膜的离子刻蚀作用,改善薄膜的质量.  相似文献   

7.
高品质立方氮化硼薄膜的制备及应用基础研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
采用射频(RF)磁控溅射的方法,成功地在(100)单晶硅片上沉积制备出了高品质的c-BN薄膜,并通过对基片的高能离子束的预处理,有效地改善了c-BN薄膜中因内应力导致的差的附着性能.进一步研究了衬底负偏压、温度与薄膜质量的关系,讨论了薄膜中内应力的状态.在此基础上,深入开展了硬质合金上沉积c-BN薄膜的工作,为c-BN薄膜的实际应用奠定了基础.  相似文献   

8.
采用射频等离子体化学增强型气相沉积(rF-PECVD)法沉积了掺氮氟化非晶碳膜.研究了不同射频功率下薄膜样品表面形貌及I-U特性,比较了试样I-U曲线的对称性及零点漂移;分析了直接沉积及硅陈列沉积下膜场发射电流的重复稳定性的差异;研究了不同掺氮流量比下沉积薄膜的Fower-Nord-heim曲线.研究结果表明,氮氟化非晶碳膜是良好的冷阴极发射材料.射频功率的提升,有利于薄膜质量和性能改善;硅陈列沉积FN-DLC膜场测试的场发射电流的重复性能较直接沉积的更加稳定优良;F-N曲线基本为直线,掺氮氟化非晶碳膜的场发射为冷阴极发射,逸出功随着含氮量的升高而增大.  相似文献   

9.
采用射频磁控溅射法,在Si(100)衬底上制备了适用于声表面波(SAW)器件的氮化硼(BN)薄膜。通过正交实验法,以薄膜中六方相的纯度和取向为指标,优化了磁控溅射方法制备六方BN(h-BN)薄膜的工艺条件。利用傅里叶变换红外光(FTIR)谱和X射线衍射(XRD)谱对薄膜进行了表征,实验结果表明,溅射功率为300W、无衬底负偏压、温度为400℃和N2∶Ar=7∶8vol.%时可以制备出高纯度且高c-轴择优取向的h-BN。  相似文献   

10.
采用磁控溅射工艺制备了TiN薄膜,借助X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪(nano-indentation)等,研究了薄膜的相结构、表面微观形貌、纳米硬度、弹性模量等,讨论了薄膜制备工艺参数,如基体温度、溅射功率、基体负偏压等的影响.结果表明,Ti N薄膜为多晶态,溅射功率、基体负偏压和基体温度等条件对薄膜的形貌、结构及纳米硬度、弹性模量等的影响比较复杂.  相似文献   

11.
齿轮—五杆机构的轨迹特性研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
采用计算机机构动画仿真的方法,对齿轮五杆机构的轨迹特性进行了研究。分析了该机构双曲柄存在的条件,两连杆铰接点C的轨迹曲线可到达的区域及该轨迹曲线形状随机构结构参数的不同而变化的规律,从而为齿轮五杆机构的轨迹综合提供了重要依据。  相似文献   

12.
数学优化方法在新安江模型参数率定中的应用分析   总被引:3,自引:0,他引:3  
以3种数学优化方法及新安江(三水源)模型的理论为依据,介绍了优化方法在新安江三水源模型参数率定中的应用.将率定成果与API模型进行了对比,说明这3种优化方法在大宁河流域参数率定中应用效果良好,具有很好的参考和推广价值.  相似文献   

13.
介绍了变截面梁变形计算的初参数法,运用该方法求密炼机转子的变形,并得到了精确的解。  相似文献   

14.
会计制度规定企业定期或者至少于每年年度终了,对各项资产进行全面检查,合理地预计各项资产可能发生的损失,并计提资产减值准备,既不高估资产或收益,也不少计负债或费用,从而避免虚增企业利润。但在实务中,一些企业却利用会计法规准则中的原则性,通过资产减值准备达到操纵会计利润的目的,本文即是从企业滥用资产减值入手,以实例来揭示企业计提秘密准备的意图,以引起业内人士的重视。  相似文献   

15.
高等学校固定资产计提折旧问题探讨   总被引:1,自引:0,他引:1  
中国现行会计制度规定,高等学校的固定资产不计提折旧。随着经济的发展和高等教育的改革,高等学校的经济成分越来越复杂,固定资产管理和核算中暴露出来的问题越来越突出。针对现行高校固定资产计价模式存在的问题,提出了对高校固定资产计提折旧的设想,研究了高校固定资产折旧的范围、折旧年限、折旧方法及会计处理办法。  相似文献   

16.
自相交易是指董事代表公司的利益与自己或者与自己有利益关系的其他公司或者企业进行的交易,是忠实义务的核心问题。因此,董事的自相交易是董事信义义务所要规制的主要方面。比较了英美法系和大陆法系的交易互相规则;结合自我交易的具体内容,分析了我国公司法关于自相交易的相关规定。  相似文献   

17.
扬声器的自滤波特性与D类功放失真的改善   总被引:1,自引:0,他引:1  
应用动圈式扬声器的电—力—声类比等效线路对动圈式扬声器的频率特性进行了初步的研究,提出了利用扬声器的自滤波性能改善因D类功放移相网络引起信号相位失真的方法。同时,采用比较、反馈的方法对音频信号的谐波加以抑制,使得数字功放的总体失真指数下降。  相似文献   

18.
红土颗粒粒度的分维变化特征   总被引:6,自引:0,他引:6  
借助分形几何理论,探讨红土在不同处理方法下其颗粒粒度的分维变化特征结果表明:红土的颗粒粒度具有线性分形结构的特点是客观存在的事实,其分维值的大小反映了土中颗粒粒度的分布情况,并与土的物理力学性之间存在一定的关系分维是描述土的颗粒粒度的一个新的特征参数  相似文献   

19.
采用不同浓度的纤维索酶和果胶酶混合液对红豆杉种子的胚进行了处理,采用3% 0.5%(m/v)的纤维索酶 果胶酶混合液效果好.得到了红豆杉胚原生质体;同时采用了B5、V-KM、MS3种培养基对所得到的原生质体进行了初步培养;实验结果表明.采用V-KM附加椰子汁(含天然植物激素)培养基培养胚性原生质体效果较好,并研究了植物激素的浓度和光照强度等对愈伤组织的诱导的影响,表明采用IAA和NAA对愈伤组织生长效果较好,光照强度在1000lx生长效果较好.  相似文献   

20.
旅游地环境的可持续发展问题   总被引:4,自引:0,他引:4  
对旅游业的资源型特点,当前旅游业发展对旅游地环境的影响程度,以及不断强化旅游地环境保护的重意义作了精辟地分析.提出了以人为本、突出特色、塑造形象、科学规划和管理的旅游地环境可持续发展的思想和方法.  相似文献   

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