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在等离子激发条件下,进行了SiO_2,和SiON介质薄膜生长实验,研究了沉积参数射频功率、反应压力、反应气体流量比及总流量、反应温度对沉积薄膜的生长速率、均匀性和折射率的影响,并优化了工艺条件,得到了生长速率为150nm/min、均匀性为±0.44%、折射率n为1.463±0.002的SiO_2和生长速率为117nm/min、均匀性为±3.0%、折射率n为1.506±0.004的SiON介质薄膜。还介绍了这两种介质薄膜的应用。 相似文献
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《大气与环境光学学报》2000,(5)
最近开发的超宽频带的色心激光器可以产生近红外及白色光谱波段的光,其核心是一块单个的LiF:F+2晶体活性元素.据阿拉巴马大学的激光与光电子研究中心的 N.Jenkins及S.Mirov称,采用金绿宝石激光器泵浦,这种LiF:F+2晶体可以在室温下提供800~1300 nm可调谐波段的光. 研究人员相信他们从LiF:F+2晶体中观察到的 500 nm的发射光谱是任何活性介质在近红外区所能发射的最大波长之一.用这个输出进行相位耦合到标准非线性晶体例如LiIO3中,将产生二次谐波从而进入可见光波段(40~… 相似文献
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烟道污染气体SO_2的差分光学吸收光谱测量 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了利用差分光学吸收光谱(DOAS)技术测量烟道污染气体SO2的方法.介绍了差分吸收光谱的基本原理和数据处理方法.讨论并分析了测量过程中光谱波段的选择.以氘灯作为光源,分别利用光谱分辨率为0.6 nm、0.7 nm和1.8 nm的光谱仪对SO2的吸收光谱进行了测量,分析了光谱分辨率对测量结果的影响.DOAS方法分析的是吸收光谱的高频部分,避免了烟尘、水汽等对测量结果的影响,可以利用差分光学吸收光谱对烟道污染气体进行检测. 相似文献
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无团聚,纳米ZrO2增韧Al2O3基陶瓷材料 总被引:3,自引:0,他引:3
本文通过微波加热ZrOCl2·8H2O的醇水深液.用HPC作分散剂.制备出无团聚、单分散的纳米水合二氧化锆。然后采用胶体工艺制备出Al2O3-ZrO2先躯体均混合的粉体。用XRD分析ZTA的相结构。用SEM观察断口形貌。结果发现,ZrO2均匀地分布在ZTA陶瓷中。粒径小于500nm,并且主要以t-ZrO2形式稳定存在。最后探讨了ZTA的增韧机制。 相似文献
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Au掺杂TiO2/SiO2薄膜的光学非线性特性研究 总被引:2,自引:0,他引:2
采用溶胶-凝胶方法制备了Au掺杂的TiO2/SiO2复合薄膜(厚度约为1.0μm)。X-ray衍射分析表明,Au的颗粒镶嵌在TiO2/SiO2复合薄膜的玻璃网络中。谢乐公式计算给出Au的颗粒大小约为10nm。采用Z-Scan测量技术得此薄膜的光学非线性折射率为1.09×10-7esu。 相似文献
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射频同轴电缆发泡绝缘广泛采用N2或CO2气体注气,因两者的性能和电缆加工工艺存在一些差异,造成发泡绝缘气孔的大小和均匀性等有很大的不同,通过光学放大镜观察发泡绝缘切片的微观结构,从而研究其对电缆的电气性能和机械性能的影响。 相似文献
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提供了在镜面抛光Si衬底上沉积平滑的纳米金刚石(NCD)薄膜的方法。采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)系统,利用H2、CH4和O2为前驱气体,在镜面抛光的Si基片上制备了直径为5cm的NCD薄膜,用扫描电镜(SME)和共焦显微拉曼光谱分析其表面形貌和结构特点。分析表明,利用这种方法可以制备出高sp^3含量的NCD薄膜。通过与沉积时间加长而沉积条件相同情况下合成的金刚石微晶薄膜形貌相对比,分析了H2-O2混合气氛刻蚀制备NCD薄膜的机理。分析表明,基底的平滑度对O2的刻蚀作用起到重要的影响;在平滑的基底上,含量较少的O2的刻蚀作用也很明显;随着基底的平滑度下降,混合气氛中O2的刻蚀作用逐渐减弱。 相似文献
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文章给出了两种优化的4-2压缩器电路结构,一种是选用不同结构的异或门电路对传统的异或门4-2压缩器结构进行优化,另一种是通过单值到双值逻辑的转换用传输门搭建的4-2压缩器电路。基于0.35μm和0.25μm CMOS模型参数的SPICE模拟。对两种4-2压缩器电路的最大延迟,功耗和面积进行了比较。结果表明,和库综合的4-2压缩相比,文章的设计对提高乘法器速度减小面积是有效的。 相似文献
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Shiqi Guo Dong Yang Sheng Zhang Quan Dong Baichen Li Nam Tran Zhenyu Li Yujie Xiong Mona E. Zaghloul 《Advanced functional materials》2019,29(18)
Toxic gases such as NO2 and irritant gases such as NH3 are two of the harshest aspects that trigger the exacerbation of the respiratory system for asthma patients. Monitoring and recording high‐risk gases are very important for tracking disease and alerting patients because humans can be exposed to a vulnerable environment with inconspicuous gases. Current detectors suffer from lack of portability and cannot provide daily real‐time detection. This work develops a light, inexpensive epidermal gas sensor based on ultralarge MoSe2 nanosheets. MoSe2 nanosheets are obtained using a gold‐assisted exfoliation method and the electrical and optical properties of the film are characterized. A high‐performance gas sensor for NO2 and NH3, which can be integrated onto human skin, is fabricated and shows great stability with up to 30% tensile strain. In particular, the device is able to detect down to 1 part per million with fast response (<200 s). The system is effective in providing timely warnings and the sensing data are uploaded to a cloud‐based terminal so that a medical institute can easily access them and provide a more accurate diagnosis. 相似文献
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温室气体引起的全球变暖、气候变化等问题已成为国际关注的热点,其中CO2是重要的温室气体之一,CO2的监测与控制已经成为各国关注的重点。结合CO2在1.6 μm处的光谱吸收结构,利用加权函数修正的差分吸收光谱技术(weighted function modified difference absorption spectroscopy, WFM-DOAS)研究大气中CO2垂直柱浓度的反演方法。利用大气辐射传输模型仿真研究了不同参数对加权函数(weighted function, WF)计算灵敏度的影响,分别对观测高度、太阳天顶角、太阳方位角、地表反照率、光谱分辨率等参数对CO2 WF系数的影响进行了详细的计算分析。并以一整天测量的太阳光为例,对仪器的性能、CO2的垂直柱浓度及干扰气体CH4及H2O的垂直柱浓度进行了分析,初步分析得到的反演误差优于1%。 相似文献
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用射频溅射方法,在不同工作气体(纯Ar和Ar+10%O_2)和不同基片偏压(-30V到-180V,间隔-30V)下,由烧结Al_2O_3靶材制备Al_2O_3薄膜。测试了样品的介电强度和沉积速率,对部分样品的结构和成份分别用XPS和X射线进行了分析。结果表明:薄膜均呈非晶态;在两种工作气体中,随着基片负偏压的升高,沉积速率和介电强度均下降,但在-60V偏压时,介电强度具有最大值。含氧的工作气体导致沉积速率下降,但提高了介电强度。在含氧和-60V偏压下,Al_2O_3薄膜的平均介电强度为3.46MV/cm。纯氩气氛中制备的Al_2O_3薄膜是缺氧的,而含氧的工作气体可使薄膜中的氧含量提高。 相似文献