底面对准曝光中的对准技术研究

主要论述了底面对准光刻机的对准原理、工作台结构以及对准标记的形式和尺寸的选择。     

Nikon光刻机对准系统概述及模型分析

对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,掌握对准原理是设计和使用光刻机的关键之一。阐述Nikon步进投影光刻机（Stepper）的对准机制,详细介绍目前应用于Nikon步进光刻机硅片对准的三种对准方式：LSA、FIA、LIA,比较它们的优缺点。并结合数学模型对影响Nikon对准模型信号强度进行分析,为提高对准精度提供了依据,对实际应用有一定的指导作用。     

投影光刻机TTL对准原理与故障分析

论述了ASML公司某型投影光刻机TTL对准系统的基本原理和主要构成,介绍了对准系统在光刻工艺中的工作过程,结合多年的投影光刻机维修经验总结了对准系统的常见故障,并给出了分析以及解决方法。     

图像处理在高精度对准系统中的应用

阐述高分辨力光刻机的图像对准系统的原理及实现过程。着重介绍图像处理技术在高精度对准系统中的应用。并讨论系统应用中的图像处理算法。     

投影光刻中相位光栅对准标记变形解决方案

描述了相位光栅对准法在步进重复投影光刻机中的运用,通过比较同轴对准系统和离轴对准系统的原理,工作过程,阐述了当对准标记产生变形时离轴对准系统能更好地修正偏差从而保证光刻工艺中套刻精度的要求.     

Nikon光刻机对准机制和标记系统研究

套刻精度是步进式光刻机最重要的指标之一。从应用角度探讨了Nikon系列光刻机的对准方法，举例说明了众多标准标记在实际掩模版上的摆放原则。     

分步重复投影光刻机同轴对准数据处理

介绍了０．８～１．０μｍ分步重复投影光刻机双光路光栅衍射同轴对准系统的构成及原理，详细讨论了对准数据的软件处理和计算方法，并给出实际测试结果。     

基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准系统设计

介绍了光刻机底面对准系统的基本原理,并分析了传统底面对准系统存在的缺点,给出了基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准新系统的设计方案。论述了系统硬件和软件的实现,并对其中的关键模块进行了深入分析。与传统底面对准系统相比,该对准系统成本降低约70%,同时,系统的可靠性大幅提高。实验表明,该系统的底面对准精度达到0.25μm,满足系统设计要求。     

0.50μm步进光刻机关键技术设计

阐述了分步光刻机的发展方向和国内现状,就０５μｍ分步光刻机的设计难点和所采用的关键技术作了进一步的分析。提出了关键技术所采用的设计方案,并对影响、难度最大的工作台技术、自动对准技术、投影镜头技术等的设计原理进行了研究。还对系统的套刻精度进行了分析和测算。     

亚半微米分步重复投影光刻机同轴对准系统及输出光强的机辅 …

介绍亚半微米分步重复投影光刻机同轴对准系统的成像机理和工作过程。该系统在掩模和硅片上均刻有对准光栅标记，经光栅衍射后形成干涉信号，使对准信噪比大大提高，并实现了掩和硅片之间的直接对准，同时利用光弹性调制器组件对光学信号进行了光学调制，由 电路实施解调，提供了一种保护高信噪比，交换弱信号探测不对准方案；并通过计算机辅助分析的手段，讨论了ＳＡＶＡＲＴ的剪切量、工件台运动速度等对系统输出信号的影响。     

5．1多轨录制系统设备配置及功能应用

重点介绍了陕西人民广播电台建设的数字化5．1多轨录制系统,包括ICON系统的硬件组成,核心控制设备D—Control及其应用软件Pro Tools的功能等,最后结合实际应用对使用中总结出的经验和技巧进行了介绍。     

System test of digital DBS system for video and audio signals

This paper discusses a system test for digital DBS system with respect to audio and video signals. The test includes system delay, lip sync, service interruption time, audio quality, and video quality. The first three tests are implemented quantitatively, and the last two tests are implemented subjectively. The criteria for the system test are defined, its test methodology is discussed and its test results are analyzed     

军队医院建立应急医学信息服务保障系统的意义

采用电路设计与原理分析相结合的方法对坡莫合金压磁式测力传感器测试系统的交-直变换电路进行了研究.针对坡莫合金压磁式测力传感器的特点,设计了传感器测试系统及交-直变换电路,并对交-直变换电路中的电源、功放、精密整流滤波电路、电压调整器、仪用放大器、低通滤波器等关键组成部件进行了深入探讨.所设计的交-直变换方案保持了传统电桥高灵敏度的优点,测试实验验证了电路的合理性.     

入侵检测系统技术现状及其发展趋势

阐述了入侵检测系统（IDS）的起源、发展和分类，介绍了它的结构和标准化工作，对入侵检测系统存在的问题及发展趋势作了概述。     

基于SPW的雷达系统建模与仿真

总结了雷达系统仿真的发展经历和技术现状，指出了基于传统仿真软件建模与仿真的缺点；对基于SPW的雷达系统仿真平台、仿真模型库结构进行了阐述，指出了其在雷达系统仿真中的优势；最后介绍了基于SPW的雷达系统模型库开发的步骤方法，并给出了基于SPW的脉冲多普勒雷达系统仿真模型及仿真结果。     

电子战系统工程概述

电子战系统是一个复杂大系统,用系统工程的理论和方法分析其效能,并对效能进行评估和仿真是十分必要的.介绍了当前电子战发展的特点和军事强国电子战的代表装备,根据电子战系统工程科学体系原理、方法以及电子战的新定义,利用层次分析法建立了电子战系统效能评估模型,分析了几种评估方法的特点,并对电子战作战仿真的方法做了概述.     

基于Mentor Graphics PCB设计工具的出图系统

介绍了基于Mentor Graphics PCB设计工具的模块电路设计文件的出图系统。从硬件配置、软件设计、配套数据输入要求和管理要求等方面，对该出图系统进行了介绍和分析；并根据实际应用效果，验证了其可行性。     

Universal service creation and provision environment forintelligent network

The evolution of the intelligent network (IN) is summarized, and its service creation requirements and provision environment are clarified. A prototype system called the ISDN development experimental system for advanced services (IDEA), which has been developed to validate the foregoing, is described. The evaluation of the system design and its future evolution are discussed     

DAB数字广播系统在重庆邮电大学的应用

DAB数字广播系统是一个比较先进的、热门的无线广播系统。介绍了DAB数字广播系统及其优点,并从重庆邮电大学实际应用出发来介绍DAB的实施应用,总结使用效果良好。总体看来,DAB数字广播系统非常有前景并可大力推广。     

综合布线系统与智能大厦

目前智能大厦方兴未艾，综合布线系统日益引起人们的重视。本文分析了传统布线技术的缺点和开放式布线系统的优势，提出了综合布线系统的设计目标，介绍了其七个子系统，最后了综合布线系统给用户带来的好处，及在建设过程中所要坚持的原则。