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1.
研究了γ辐照感生Si/SiO2慢界面态的特性及其对高频C-V测试的影响。结果表明,辐照产生的慢界面态为界面态的0.3-0.8,分布在Si禁带中央以上的能级或呈现受主型。分析认为慢界面态对应的微观缺陷很可能是Si-O断键或弱键。慢界面态的产生还引起C-V曲线同测试速率、方向和扫描前保持时间有关。文中提出了如何通过高频C-V测量比较准确地计算辐照感生氧化物正电荷、界面态和慢界面态密度的方法。 相似文献
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针对Si-SiO2过渡区对于离子注入较为敏感的特点,用1.2MeV,剂量1×1010cm-2的Fe+和H+先后注入SiO2-Si样品,并用XPS技术重点分析了Si-SiO2界面附近硅的化学结构、组分的变化。结果表明,在界面附近,除了Si4+,Si0价态,还存在明显的Si2+价态。这和注入H+产生的高温退火以及Si—Si键或Si—H键的形成有关。 相似文献
3.
分析研究了用注F工艺制作的CC4007 电路电子和X射线辐照响应结果。实验表明,把适量的F注入栅场介质,能明显抑制辐射所引起的PMOSFET 阈电压的负向漂移和NMOSFET阈电压的正向回漂及静态漏电流的增加。I-V特性表明,栅介质中的F能减小辐射感生氧化物电荷和界面态的增长积累。注F栅介质电子和X射线辐照敏感性的降低,是Si-F结键释放了Si/SiO2 界面应力,并部分替换在辐照场中易成为电荷陷阱的Si-H弱键的缘故。 相似文献
4.
研究了栅氧化时掺HCl的硅栅MOSFET的DDS-VGS特性、阈电压和界面态.结果发现,HCl掺入栅介质,可使IDS-VGS曲线正向漂移,PMOSFET阈电压绝对值减小,NMOSFET阈电压增大,Si/SiO2界面态密度下降。采用氯的负电中心和Si/SiO2界面硅悬挂键的键合模型对实验结果进行了解释。 相似文献
5.
本文研究了Fowler-Nordheim高电场应力引起的MOS结构损伤及其室温退火.结果表明有四种损伤产生:氧化物正电荷建立、Si/SiO2快界面态增长、慢界面态产生和栅介质电容下降.当终止应力后,前三种损伤在室温下有所恢复,但最后一种损伤没有变化.实验还表明:产生的慢界面态分布在禁带上半部;高电场下栅介质电容呈现无规阶梯型下降.对四种损伤及其室温退火机理进行了讨论.还给出产生的慢界面态对高频电容-电压测量的影响. 相似文献
6.
本文对N十离子辐照纳米氮化硅量子点的表面特性进行了测试、分析,对离子辐照后量子点蓝光发射显著增强这一现象给出了解释.FTIR测试发现,辐照使Si-N键结合峰增强,说明辐照后Si-N 键合数增加,而其它峰未发生变化.XPS全谱表明,量子点中的氧主要集中在其表面,辐照使量子点表面的氧含量增加,进一步通过XPS芯态能谱测试发现,辐照使表面的氧、硅由吸附态转化成结合态.我们认为SiO2/Si3N4界面中的激子模型可以解释量子点蓝光增强现象,界面层激子效应是蓝光发射增强效应产生的根源. 相似文献
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采用高频(1MHz)C-V测试和红外谱,研究了工艺参数对XC激发真空紫外光直接光CVDSiO2的SiO2/Si界面特性的影响。结果表明,衬底温度Ts对固定氧化物电荷密度△Not、慢界面态密度△N的影响比反应室总气压PC和SiH4/O分压比显著。△Not和△Nst在110℃附近有极小值。约为10^10cm^-12量级。Ts〉120℃,△Not呈正电荷性,Ts〈110℃,△Not呈负电荷性,Si-O- 相似文献
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掺HCI栅氧化对MOS结构电特性的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了栅氧化时掺HCl的硅栅MOSFET的DDS-VGS特性,阈电压和界面态。结果发现,HCl掺入栅介质,可使IDS-VGS曲线正向漂移,PMOSFET阈电压绝对值减小,NMOSFET阈电压增大,Si/SiO2界面态密度下降,采用氯的负电中心和Si/SiO2界面硅悬挂键的键合模型对实验结果进行了解释。 相似文献
10.
在新材料SIMOX上制作CMOS器件,并采用静态I-V技术,研究了CMOS/SIMOX在(60)Co-γ电离辐照场中辐照感生界面态、氧化物正电荷、阈值电压、静态漏电流等参数的变化。结果表明,在辐照过程中,氧化物正电荷增加较多,界面态增加较少,且NMOS和PMOS"导通"辐照偏置是最恶劣偏置。 相似文献
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采用高频(1MHz)C-V测试和红外谱,研究了工艺参数对Xe激发真空紫外光(VUV)直接光CVD SiO2的SiO2/Si界面特性的影响。结果表明:衬底温度Ts对固定氧化物电荷密度ΔNot、慢界面态密度ΔNst的影响比反应室总气压Pc和SiH2/O2分压比显著。ΔNot和ΔNst在110℃附近有极小值,大小为10^10cm^-2量级。Ts〉120℃,ΔNot呈正电荷性,Ts〈110℃,ΔNot呈负 相似文献
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In0.53Ga0.47As表面钝化及降低界面态密度的方法 总被引:1,自引:1,他引:0
采用PECVD技术,以TEOS为源,对In0.53Ga0.47As材料进行表面钝化,研究了SiO2/In0.53Ga0.47As的界面态,提出降低界面态密度的方法,使其降低到8.5×10^10eV^-1cm^-2。 相似文献
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采用准静态C-V特性和高频C-V特性测试技术,结合温偏(B-T)实验,测试了等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)法低温制备的富氮的SiOxNy栅介质膜的电学特性(界面态密度、固定电荷密度、介电常数、可动离子密度),结果表明,制备出的栅介质膜性质优良。 相似文献
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电离辐射引起MOSFET跨导退化的机制 总被引:1,自引:0,他引:1
通过研究60Cor射线对MOSFET跨导的影响,定性描述了辐照栅偏置条件以及氧化物电荷积累和Si/SiO2界面态密度增加分别与NMOSFET和PMOSFET跨导衰降之间的依赖关系。试验表明,对于PMOSFET,电离辐射感生氧化物正电荷累和界面太度增加降导致器件跨导退化。对于NMOSFET来说。这种退化只与辐射感生界面态密度增长有关。 相似文献
19.
采用红外吸收光谱分析了SIPOS薄膜中Si-O键的结构,对比分析了热退火和快速灯光退火对SIPOS中Si-O键结构的影响,并结合SIPOS/Si结构的C-V、I-V测试结果,对该结构的异质结特性进行了分析。 相似文献
20.
Fowler—Nordheim高电场应力引起的MOS结构损伤研究 总被引:1,自引:1,他引:0
本文研究了Fowler-Nordheim高电场应力引起的MOS结构损伤及其室温退火。结果表明有四种损伤产生,氧化物正电荷建立,Si/SiO2快界面态增长,慢界面态产生和栅介质电容下降,当终止应力后,前三种损伤在室温下有所恢复,但最后一种损伤没有变化,实验还表明:产生的慢界面态分布在禁带上半部;高电场下栅介电容呈现无规阶梯型下降,对四种损伤及其室温退火机理进行了讨论,还给出产生的慢界面态对高频电容- 相似文献