CMP设备控制软件的模块规划及可视化技术

CMP(Chemical Mechanical Polishing)设备是半导体集成电路(IC)制造中的关键设备,CMP设备控制软件的开发是CMP设备研发的关键技术之一。针对三工位CMP机床,自行设计开发了具有抛光压力在线监控、真空吸盘的真空度实时监测、抛光头及抛光盘变频电机转速和转向控制以及机床动作控制等功能的设备监控系统。采用面向对象的方法,给出了监控系统软件模块的划分方法,并对控制功能模块进行了类的封装,重点介绍了多视图通讯的实现以及利用OpenGL实现软件可视化的CMP软件开发关键技术。     

由C++到Verilog实现数字逻辑设计的方法

通过介绍C++语言配合VerilogHDL来进行数字逻辑设计的模式,提出了一种由C++到Verilog来实现逻辑设计的崭新方法此方法从系统设计(虚拟机)入手,用C++来搭建所需要的系统模型,再由Verilog与C++的一致性转化,将软件设计精确地转化到硬件级上,使得逻辑设计向上可进行软硬件的联合仿真,向下能够实现物理级延伸通过该方法可有效地避免SOC设计中从系统到物理实现在转化过程中产生的逻辑不一致在简叙C++的语言特性后,将Verilog与C++进行了对比分析,给出了两种语言之间进行转化设计的实现方式结合数字信号处理器的设计,对此方法进行了设计应用,最终通过比对C++与Verilog两者的仿真数据文件,对两种层次系统描述进行了测试验证     

CMP抛光设备底座系统的模态仿真分析

设计了一种化学机械抛光设备(CMP)的底座系统,主要包括地脚、方钢管、大铝板等。针对CMP设备在使用中存在的噪声偏大,高转速下的电机转动引起的共振影响晶圆抛光质量问题,通过MSC Patran分析软件,对CMP的主要部件——底座系统,进行了振动模态分析,并在此基础上进行了以改变基频为目标的结构优化设计。     

基于单片机的多功能数字钟系统设计与分析

文章简述了系统各模块方案的论证与选择的相关内容。文中在对本系统的各个模块的方案进行论证与实际应用相比较的基础上,最终方案选用AT89C52作为主控制系统来控制时钟的准时运转,采用独立式按键控制本设计系统将要实现的全部功能,选用LCD液晶动态扫描来显示时间。并对系统的硬件设计与实现进行分析,同时,对系统的软件设计进行分析。     

自动化药品存储控制系统的研制

根据药品仓储自动化设备所要达到的功能及其运行特性，研制了一种药品仓储物流控制系统。对该系统中主要的硬件设备的设计和控制软件的设计方法做了阐述，同时分析了整个控制系统的实现功能和方法。目前该系统已经开发完成，实验表明该系统运行效果良好，可靠性高。     

直流供电程控滤波器设计

设计和实现了一种便携式直流供电程控滤波器系统.根据外场试验需求,确定了系统硬件部分的主要工作参数,提出了以单片机控制多通道程控滤波器模块作为硬件设计方案,设计了备功能模块的处理任务和功能,构建了硬件系统.设计了系统中控制软件的程序流程,提出了控制软件设计方案,用MSP430汇编语言和C语言编写控制软件.对系统进行了测试,结果表明符合设计要求.     

太阳绝对辐照度测量系统中的太阳跟踪系统设计与性能测试

为实现高精度的太阳绝对辐照度观测,设计了视日运动轨迹跟踪和四象限探测器精密跟踪相结合的太阳自动跟踪系统.分析了四象限探测器的工作原理,对其均匀性进行了测试,确定了其偏离系数.对跟踪系统进行了硬件设计、控制软件设计和结构设计.实现了以C8051F064单片机为核心的数据采集、信号处理和反馈控制系统.在实验室内对系统的跟踪精度进行了测试,结果表明跟踪偏差在0.1°之内.经实际运行证明,该系统方案可行,具有稳定性强、精度高的优点.     

基于ARM的电子负载网络监控系统

设计了一种基于ARM的电子负载网络监控系统。给出了以三星S3C2440为核心的嵌入式系统硬件结构和组成,以Windows CE作为嵌入式系统软件平台,采用Embedded VC++开发了可视化的通讯控制软件,实现了RS232总线与以太网的互联。上位机采用Delphi作为开发工具设计了电子负载监控软件,实现了远程监控,多负载控制,数据采集分析等功能。     

小功率位置随动系统的设计与仿真

对所设计的“小功率位置随动系统”的稳定性和稳态精度进行了分析研究，同时通过计算机对该系统进行仿真。仿真结果表明：用计算机来辅助分析和设计控制系统比手工或模拟分析计算方便，计算速度快。该控制软件不但可用来研究线性定常系统，分析系统参数变化对系统性能的影响，而且对非线性系统、时变系统等复杂系统也可进行分析和计算。     

GCC编译器生成代码中的C++对象模型分析

本文对GCC编译器编译C++程序时使用的对象模型进行了讨论,重点分析了GCC实现C++对象模型过程中采用的相关数据结构和算法。本文的分析可以帮助程序开发者及C++编译器的设计者理解GCC编译器中C++对象模型的实现机制,或在C++程序安全分析领域帮助开发者设计C++程序安全模型。     

CMP抛光机抛光台温度控制的研究

阐述了CMP抛光机抛光台的温度控制方法。用有限元软件ANSYS模拟了抛光台和循环水的热交换过程,并且分析循环水的流量和温度对热交换效率的影响,得出循环水流量和温度跟热交换效率的关系。根据它们之间的关系,设计了一种CMP抛光机抛光台温度控制系统和方法,通过有限元软件ANSYS模拟了该温度控制系统和方法的控制过程,模拟结果...     

基于组态王的标校远程监控系统软件设计

为满足测量船远程监控标校塔标校设备的需求,在原有基于C/S监控模式不能适应高密度任务的情况下,提出利用组态王KingView开发B/S网络模式的标校设备远程监控软件.首先给出了远程监控系统的组成和控制对象,进而应用KingView进行监控软件设计,通过画面布局设计、数据字典构建、动画连接实现了监控需求,采用中间件技术实...     

基于ReWorks操作系统海用卫星导航设备人机交互软件开发

针对海用卫星导航设备人机交互软件，引入了 ReWorks 操作系统，研究了基于 ReWorks 的应用软件开发方法，使用 ReDe 开发环境和 DirectX 工具实现了海用卫星导航设备人机交互软件的设计开发，最后工程实践表明其正确性和有效性。     

软件能力集成对舰载电子装备的作用和意义

由于未来大型电子装备的规模越来越大,系统化程度越来越高,传统的定制开发模式在装备研发的可持续性、开放性、移植性和可扩展性上都存在局限。文中提出了以通用硬件平台、统一软件架构为基础,通过软件无线电实现电子装备的功能软件化,有效解决了大型电子装备的系统能力集成问题,并从电子技术支撑、技术状态管理、工程研发组织和全寿命使用维护方面进行可行性分析,可应用到大型电子装备的研发过程中。     

基于DSP光纤光栅温度在线监测系统设计

介绍了一种基于DSP光纤光栅的温度在线监测系统,在分析光纤光栅温度传感原理的基础上,论述了提高该系统波长测量精度的技术要点,并给出了系统硬件和软件的设计方法。该系统解决了光纤光栅波长解调的关键技术问题,实现了对电力设备各方位温度变化的实时在线监测。系统监测范围广、精度高、运行稳定可靠,可实现远程集中的自动化管理,通过实际运行结果,证明该系统具有良好的应用前景。     

Development of data logging system for chemical mechanical polishing and its application for process control

Chemical-mechanical polishing (CMP) has been widely used in semiconductor production for a certain length period, but the process control of CMP still has a number of issues to be resolved. The process control of CMP has not been well established. A good process model is essential to a successful CMP integration into mass production. This paper describes the development of a data logging network system for a CMP process. This system helps engineers build proper process control models. This system consists of the following entities: CMP process equipment, several analog/digital I/O devices built into the equipment, film thickness and scratch measurement instrument, particle measurement facility, and an infrared thermometer. All of these are connected with a local area network.     

基于FPGA技术的雷达开机控制系统仿真

通常雷达的开机应在架设完毕并检查无误后,严格按照规定的操作方法和步骤进行,以保证装备和人员的安全。首先介绍了雷达开机控制系统的设计要求和设计原理。然后根据某型雷达的输入、输出状态的模拟设计、设计出了FPGA电路,实现上述控制关系,最后应用QuartusⅡ仿真软件进行了仿真,根据模拟的输入信号观察相对应的输出状态。基于FPGA设计的雷达开机控制系统既适应当前的战争生存,又提高了装备的性能和可靠性。     

基于视频智能分析的配电房全天候监控系统设计

文中对配电房视频智能分析系统软硬件功能、结构和原理等进行了详细介绍,以视频采集信息为基础,实现授权管理、安全穿戴、环境监控等方面的智能识别,并通过实验验证了此次研究的系统的有效性,提高配电房全天候监控系统维护工作效率、运维效果,并能够减少人员、设备等的故障,具备实际应用意义.     

可编程序控制器实现三维工作台联动液压系统的控制

通过对液压机的三维工作台联动液压系统工作过程的分析,采用FX2N-64MR可编程序控制器,对原继电器-接触器控制系统进行技术改造,分析利用可编程序控制器设计控制系统的方法和步骤,实现对三维工作台联动液压系统的手动/自动控制;应用可编程序控制器控制后,降低了控制设备的故障率,提高了控制设备的可靠性和稳定性。