论光刻机的曝光控制系统

<正> 概述 光刻机是生产半导体器件的重要工艺设备之一,它可分为工作台对准系统和光学曝光系统两大部分。对于一台性能优良的光刻机光学曝光系统起着不容忽视的作用。近代发展起来的光刻机在曝光系统上采用了一系列新技术,例如在光学设计上采用复眼透镜组来减少光学衍射效应,提高光的均匀性;在幅照光源上采用恒光强控制(如Rarlsu-ss,uv系列光刻机);对曝光时间采用积分曝光(如Canon PLF-500系列光刻机)等。本文仅从电学角度来论述光刻机的曝光控制系统,并对某些专题进行较详细地分析,以便读者可有一深入和系统了解。     

基于双掩模光刻机的真空复印机构与工艺研究

介绍了双面光刻机的类型、工作原理及特点,研究分析了双掩模光刻机的曝光方式,提出了一种通过改进曝光模式、提高双掩模光刻机曝光分辨率及基片曝光线条均匀性的方法,并通过生产线工艺验证及数据分析,得出通过该工艺曝光模式,满足生产线实际工艺要求。     

步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术研究

讨论了步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术 ,详细阐述了步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制原理 ,提出了一种曝光剂量控制算法。实验表明 ,应用此剂量控制技术使系统的曝光剂量控制精度达到 1.3 7% ,剂量重复精度达到 0 .3 1% ,满足亚半微米光刻图形的曝光剂量控制要求     

关于提高接触式光刻机套刻精度的几个问题

随着半导体技术突飞猛进的发展,对于制造半导体器件的重要工艺——光刻工艺的要求也越来越高。这些要求中“关于如何提高接触式光刻机套刻精度问题”已成为当前设计新的接触式光刻机的焦点。本文仅就这个问题谈一些粗浅看法。一、目前光刻机发展概况从目前光刻机发展趋向来看,曝光光波越来越短。因为光刻图形分辨率与所用曝光光波的长度的平方根成正比,所以总的趋向是改变曝光的光源。由于它的改变又引起曝     

光刻机曝光均匀性在线检测方法

光刻机的曝光量和焦距会随着做片量的增加发生漂移,具体表现为曝光场内和圆片内出现曝光不均的质量异常。设计了针形解析图形和方形显开解析图形,利用Ultra Step 1000光刻机进行实验,分析了曝光量和焦距的变化对解析图形解析值的影响。结果表明,曝光量对针形光胶解析图形影响较大,焦距对方形显开解析图形的影响较大。设计了解析图形在曝光场内和圆片内的布局方案,以及在线检测曝光场内和圆片内的曝光均匀性的具体方法,利用该方法可以有效提高光刻机曝光均匀性的在线监控效率,提早预防曝光不均异常现象的发生。该监控方法可以应用于其他类型的光刻机。     

光刻机曝光光学中的概念辨析

归纳解释了光刻机曝光光学中的若干重要概念，例如分辨率、焦深等，详细地阐述了光刻机曝光的原理。考虑到类似概念在不同系统中的含义差别，进行了针对性的辨析。从物理光学层次了解和掌握光刻机曝光的机理。     

光刻机的分辨率和对准特性研究

本文以PLA－501F光刻机为例,研究如何使光刻机的分辨率和对准精度得到充分发挥。指出了光源、光刻胶、滤光片和主物镜的相互匹配是充分发挥光刻机分辨率的关键问题;在提高光刻工件的对准精度方面,牵涉到母板的套准图形设计及对准时的技巧。本文还分析了接近式曝光和接触式曝光的主要优缺点。     

1:1投影光刻机和10:1缩小片子步进机和混合光刻中的图形位置误差

本文主要参照1:1投影光刻机和10:1缩小片子步进机混合光刻中的套刻图形的差异,研究了这两种机器的特征图形位置误差。分析样品采用近年来由那些高度复杂的光刻机的用户所研制成,专用于精确鉴定大量元件的图形与图形之间的套准误差。通过使用这些样品和数据,就可以看出怎样使这两种类型的曝光设备能够成功地用于经济而有效地制作苛刻图形的器件。对于现今的高密度器件的制造来说,采用一次性全片对准的片子步进机与1:1投影光刻机的混合曝光方法是完全可以胜任的。并研究出了一个用于10:1片子步进机,1:1投影光刻机,以及用于这两种设备混合曝光的实际生产套刻值的预算表。     

光刻机光强影响因素分析

曝光系统是接触接近式光刻机的核心部件,系统的曝光强度对光刻工艺有很大的影响。通过对曝光光路系统进行详细分析,对影响光强的各种因素进行了论述和计算,为进一步改善曝光系统光强指明了方向。     

先进封装步进投影光刻机焦深研究

对先进封装步进投影光刻机的焦深进行评估.投影光刻机是IC制造与先进封装行业的关键设备,对后道封装而言,厚胶工艺是典型工艺,最厚部分可达0.1mm以上,大焦深能够保证光刻机容纳各种工艺误差,能够保证封装光刻机用于曝光厚光刻胶时仍拥有较好的侧壁陡度.     

Novel stepper motor controller based on FPGA hardware implementation

This paper proposes a novel stepper motor controller based on field programable gate arrays, showing a remarkable performance. The system provides a combination between a novel algorithm and programmable logic to achieve both high speed and high precision on a compact hardware.     

步进电机变速控制系统设计

空间光学探测仪器为实现视场扫描、波段转换等功能,往往需要步进电机进行驱动。空间用步进电机要求精度高、功耗低、可靠性高。本文设计了一种基于FPGA的两相步进电机控制系统,采用矢量横幅均匀旋转的方法实现八细分驱动。并根据S曲线算法模拟离散的S曲线加减速算法表,保证电机转子运转速度与加速度变化的连续性,提高电机运行的平稳性能。测试结果表明,该套控制系统功耗低、精度高,很好的完成了设计要求。     

高吞吐率XTS-AES加密算法的硬件实现

基于XTS-AES算法提出了一种具有并行全流水结构的硬件实现方法.设计通过展开数据通路的方式,提高了吞吐率;同时还通过采用内部流水线结构优化关键路径的方式,提高了电路的时钟频率和整体工作性能.在UMC 90 nm CMOS工艺条件下,所设计的XTS-AES模块的吞吐率比目前已知XTS-AES的最高吞吐率提高了52.28%.分析结果表明,该硬件模块完全满足现阶段高速加密存储的需要.     

亚微米分步重复投影光刻机总体设计考虑的几个问题

介绍对亚微米分步重复投影光刻机光刻工作分辨力、套刻和生产能力三项主要技术指标的设计分析,方案考虑以及采取的技术措施。测试结果表明这些考虑是必要并且有效的,它为光刻机的研制成功打下基础,也为设计下一代指标要求更高的光刻机提供有益的参考。     

多级交换中支持包保序的交换结构及调度算法

现有单级交换结构在其规模的有效扩展方面存在瓶颈。该文提出了一种新的中间级带缓存的高可扩展多级交换结构,并建立了该结构的排队论模型。针对交换网络内部的信元乱序问题,该文基于上述结构提出一种新的包保序算法,该算法通过严格同步输入级和中间级调度指针,能够简单有效地实现信元保序。理论分析结果表明,该结构能够获得100%的吞吐量且实现代价较小。仿真实验表明,该算法不仅能够获得较为理想的高吞吐量,并且在高负载强度下的平均时延性能优势明显。     

移动网络中数据业务关键性能指标KPI探讨

移动网络的性能评估是网络规划和优化建设的前提，数据业务的迅速发展为移动网络的性能评估提出新的课题，当前评价数据业务网络的关键性能指标主要有吞吐量、时延等，从网络的容量和质量角度出发提出每用户平均吞吐量和网络资源利用率两个关键性能指标，并分别进行理论分析，为数据业务网络的性能评估提供参考依据。     

无线网状网中基于干扰模型的多信道分配策略

为解决信道干扰导致无线网状网吞吐量下降的问题,本文提出一种新的基于干扰模型的多信道分配策略.首先对网络进行分层,然后按照优先级逐层进行信道分配,通过降低信道间的干扰来提高每个结点的吞吐量,进而提高整个网络的吞吐量.仿真结果表明了该策略的有效性.     

投影光刻机在先进封装中的应用

随着先进封装技术的发展,对光刻的要求(CD均匀性、套刻精度等)将逐渐提高,当硅片尺寸逐渐增大到200mm(8英寸)乃至.300mm(12英寸)时,步进投影式光刻机在全片一致性上的优势更明显。SS B500系列先进封装步进投影式光刻机具备良好的RDL、Bump等工艺适应性,分析了CD及套刻的影响因素,阐述了绝对套刻测量的意义,并以实测数据表明SSB500/10A已实现良好的整机性能。     

试谈步进电机在智能寻迹小车上的应用

文章论述了步进电机的分类、性能,并对其在智能寻迹小车的应用优劣点进行了阐述.     

REACA: An Efficient Protocol Architecture for Large Scale Sensor Networks

The emergence of wireless sensor networks has imposed many challenges on network design such as severe energy constraints, limited bandwidth and computing capabilities. This kind of networks necessitates network protocol architectures that are robust, energy-efficient, scalable, and easy for deployment. This paper proposes a robust energy-aware clustering architecture (REACA) for large-scale wireless sensor networks. We analyze the performance of the REACA network in terms of quality-of-service, asymptotic throughput capacity, and power consumption. In particular, we study how the throughput capacity scales with the number of nodes and the number of clusters. We show that by exploiting traffic locality, clustering can achieve performance improvement both in capacity and in power consumption over general-purpose ad hoc networks. We also explore the fundamental trade-off between throughput capacity and power consumption for single-hop and multi-hop routing schemes in cluster-based networks. The protocol architecture and performance analysis developed in this paper provide useful insights for practical design and deployment of large-scale wireless sensor network.