磁控溅射法制备高反射铝膜

通过先后调整溅射沉积时间、溅射功率以及溅射气压等镀膜参数,然后结合所镀样品的反射率测量,分析了镀膜参数对铝膜反射率的影响;通过调整不同的离子束清洗时间,结合所镀样品的太阳光谱反射率测量以及附着力测试,研究了离子束清洗对铝膜性能的影响。结果表明,在这些影响因素中离子束清洗对铝膜性能的影响很大。     

椭球反射镜膜厚均匀性与工艺技术的探讨

讨论了深紫外曝光系统中椭球反射镜镀制装置在薄膜沉积中的镀制条件对膜厚和膜厚均匀性的影响,计算了椭球镜的膜厚均匀性并对如何改善椭球镜膜厚分布作了介绍,实验得到均匀性符合要求的反射镜。     

Si基片上Au膜真空紫外反射特性研究

对Si片上Au膜在真空紫外波段的反射特性进行了系统的研究.采用离子束溅射,选择不同的镀膜参数,在经不同前期清洗方法处理过的Si片上,镀制了各种厚度的Au膜.利用科大国家同步辐射实验室的反射率计,对Au膜在真空紫外较宽波长范围内的反射率进行了连续测量.测试结果表明Si片上Au膜厚度和辅助离子源的使用方式对Au膜反射率有重大影响,而镀前基片表面清洗工艺等对反射率影响不显著.采用辅助离子沉积或镀前离子清洗,可提高Au膜反射率;但离子清洗和辅助离子沉积同时使用会给反射率带来显著的不利影响.膜厚在30 nm左右,55°入射角时反射率最高,可高达40%.     

波长渐变膜的设计与制备

基于实际使用中的需求,使用磁控溅射的方法,在50 G窄带光学膜的基础上,通过使用挡板遮挡,在玻璃上镀制不同厚度的膜层,在不同物理位置实现中心波长渐变的50 G窄带光学膜。     

真空制镜机功能的开发

开发真空制镜机新的功能,是目前制镜厂解困的有效途径,有其作装饰镀是开发制镜机功能的一个重要方面,实践证明,用制镜机作装饰镀,不中行,而且有其独特的优势。用制镜机作装饰镀的关键是镀件在真空室体中的安装和相应的蒸发源的布置,总结了不同类型镀件的安装与蒸发源的布置方法。     

线性渐变滤光片镀制挡板设计

提出了一种膜厚修正挡板的设计方法,分析给出了使用挡板情况下基片膜厚和监控片膜厚的关系,对线性渐变滤光片镀制挡板进行了设计,给出了设计结果。用设计的挡板成功镀制了线性渐变滤光片,并给出了镀制结果。     

低温沉积ITO透明导电膜的研究

通过探讨半导体氧化物ITO膜的透光和导电机理,用反应性直流磁控溅射的镀膜工艺,在有机玻璃上低温镀制(ITO)膜,研究ITO膜溅射工艺参数与透光和导电性能的关系,实现了在低温下镀制(ITO)膜的技术,其透光率≥80%以上,表面电阻≤30Ω/□.     

膜污染试验装置的研究及其应用

研制了用于膜污染与膜清洗研究用的平板膜,使用该平板膜对沧州炼油厂热电厂水处理车间反渗透设备的膜污染、膜的清洗液配方和清洗方法进行了研究。快速恢复了设备的膜通量,说明平板膜的设计是合理的。     

光学镜面化学镀银中的敏化工艺研究

介绍了光学镜面化学镀银工艺的基本流程及对膜层质量影响较大的敏化工序的原理和工艺,并对该工序中的喷水量进行了理论计算和实验验证。对一块Φ365mm口径的次镜进行镀膜实验。实验结果表明,均匀喷雾35s左右能洗净敏化液中的Cl-,并使水解生成的Sn(OH)2胶体均匀残留于镜面,镀制的Ag膜层质量较好。膜层检测结果为:反射率为92%,厚度为60nm,对面形的影响:PV=λ/45,RMS=λ/250,满足该次镜的检测精度要求。     

压电厚膜驱动的高刚度微变形镜的制备

研究制备了一种压电厚膜微变形镜,微变形镜的连续薄膜式单晶硅镜面由61单元压电厚膜致动器阵列驱动.以镜面冲程与工作频带宽为目标,对微变形镜的结构参数进行优化设计,根据优化参数采用硅微加工技术试制了61单元致动器的微变形镜.镜面、压电陶瓷与弹性支撑层厚度分别为100μm、60μm与60μm,单元间距为5mm,通光口径为40 mm.对制备的样品性能进行了测试,微变形镜在100 V电压驱动下变形量约为2.84μm,工作带宽大于10 kHz.测试结果还表明压电厚膜驱动的微变形镜拥有较高刚度,有利于提高镜面初始平面度.     

纯聚丙烯热法铝塑复合膜及其热封性能

目的 为了提高铝塑复合膜的热封和抗腐蚀性能,提出一种新的基于纯聚丙烯(CPP)的热法铝塑膜制备方法。方法 不同于传统的干法和热法工艺,通过在铝箔表面沉积纳米金属防腐涂层直接实现纯CPP与铝箔的黏结,解决单层纯CPP在铝箔表面不能直接淋膜热复合的技术难题。对铝箔和铝塑膜的表面形貌,以及铝塑膜热力学性能、热封性能进行研究。结果 纳米涂层工艺提高了铝箔表面粗糙度,增大了铝箔和CPP之间的接触面积。热封测试的实验结果表明纯CPP热法铝塑膜的一封热封强度超过了140 N/15 mm,在电解液浸泡后的二封热封强度仍接近于140 N/15 mm。结论 纯CPP热法铝塑膜具备良好的热封和耐电解液腐蚀性能,在动力电池领域具备应用前景。     

6061铝合金表面硅烷-镧盐复合转化膜的耐蚀性能和结合力

目前国内对稀土硝酸镧改性硅烷膜的耐蚀性少见研究报道。采用极化曲线、硫酸铜点滴试验方法,研究了硝酸镧对6061铝合金表面γ-氨丙基三甲氧基硅烷(KH-550)硅烷膜耐蚀性能的影响;通过全浸腐蚀试验进一步研究复合膜、空白试样、硅烷膜试样、镧盐钝化膜试样与有机涂层间的结合力。结果表明:在KH-550硅烷基础溶液中添加一定量硝酸镧可有效提高硅烷膜的耐蚀性和结合力;所得复合膜层均匀、致密。同时初步探讨了复合膜的耐蚀机理。     

用阴极电解法沉积铝合金铈转化膜

在铈盐溶液中阴电极解的方法沉积铝合金铈转化膜,用电化测试,腐蚀实验,ＳＥＭ和ＥＤＡＸ等分析手段研究了转化膜的性能,结果表明,钪转化膜的形貌垢形貌组成和耐蚀与铝合金表面状态和阴极是否发生析氢反应关系密切,要想获得性能良好的转化膜必须抑制氢气在阴极上析出。     

镀膜浮法玻璃的风化性能

采用人工加速风化的方法研究了镀有SiO2薄膜的浮法玻璃的风化性能,并与相同风化条件下的浮法玻璃原片的表面状态进行了比对,从风化机理上进行了分析。红外反射光谱和扫描电镜分析结果表明,镀有SiO2薄膜的浮法玻璃和未镀膜玻璃随着风化温度和风化时间的增加,均呈现风化现象逐渐加重的现象。但前者风化程度明显低于后者,尤其当风化条件(70℃,75%RH,风化15d)恶劣时,镀膜玻璃表面只出现了小块斑点和红外光谱的略微变化;而未镀膜玻璃表面则出现大面积的侵蚀斑块,在红外谱图上不仅≡Si—O—Si≡特征峰发生位移,而且出现了C?O的特征峰。说明SiO2膜层能够很好地阻挡玻璃表面Na+与空气中H+、H3O+的交换,有效地抑制玻璃表面风化的发生。     

AL5252铝合金阳极氧化及封孔处理后的性能

AL5252铝合金在使用中易遭受腐蚀。先对AL5252铝合金阳极氧化再作封孔处理,对比分析了其封孔前后的表面与截面形貌、膜基结合强度和表面粗糙度等。结果表明:AL5252铝合金阳极氧化后表面形成了形状、大小不规则的多孔型氧化膜,封孔后膜表面呈蜂窝状,生成勃姆石和镍的氢氧化物沉淀并封闭了氧化膜的多孔层,使之具有较好抗腐蚀能力;阳极氧化膜与基体结合强度较高,但封孔后膜基结合强度略微降低,膜表面粗糙度增高。     

硝酸镧掺杂对6061铝合金表面硅烷膜耐蚀性能的影响

为改善铝及铝合金的表面防腐蚀性能,在γ-(2,3-环氧丙氧)丙基三甲氧基硅烷(KH-560)基础溶液中添加不同含量的硝酸镧,在6061铝合金表面制备不同硝酸镧浓度掺杂的硅烷-镧盐复合膜;采用极化曲线、硫酸铜点滴、腐蚀失重率试验等方法分析膜层性能,并得出了镧盐最佳用量。对比分析了最佳镧盐用量下复合膜、硅烷膜和稀土转化膜的耐蚀性能。结果表明:在KH-560硅烷膜制备过程中添加一定量硝酸镧可有效提高硅烷膜的耐蚀性,添加15 g/L硝酸镧时,形成的复合膜层致密且没有裂纹,耐蚀性最好;与单一的硅烷、镧盐转化膜相比,复合膜表现出很好的耐蚀性。     

Growth and corrosion of aluminum PVD-coating on AZ31 magnesium alloy

Magnetron sputtering was applied to prepare aluminum coating on a mechanically polished AZ31 magnesium alloy. A loose oxide film was spontaneously formed on the surface of AZ31 magnesium alloy during polishing process. The aluminum coating, which was subsequently deposited on this oxide layer, presented a developed columnar microstructure. Attributed to the barrier effect of Al coating, the Al coated AZ31 showed a higher corrosion resistance than bare AZ31 in corrosion tests. Generally, Al coating is cathodically protected by magnesium alloy substrate. But it is interesting in this study that Al coating still suffered from severe corrosion due to the occurrence of the alkalization effect.     

含Zn-Al磷酸盐防腐蚀涂层的制备与腐蚀机理研究

为制备出具有更高耐蚀性、尤其是耐海洋气候腐蚀的Zn-Al基金属陶瓷涂层,以磷酸二氢铝作为粘结剂,氧化镁、氧化锌作为固化剂,锌、铝粉作为填料,聚四氟乙烯作为助剂,制备了一种含Zn-Al磷酸盐防腐蚀涂料,通过空气喷涂后热固化的方式在300M高强钢表面制备出含Zn-Al磷酸盐防腐蚀涂层,并对涂层进行了中性盐雾试验以及电化学试验,采用扫描电镜和能谱分析形貌及成分。结果表明:涂层中性盐雾腐蚀寿命达到1 000 h;涂层的自腐蚀电位低于基体,能为基体提供阴极保护;含Zn-Al磷酸盐防腐蚀涂层的腐蚀过程分为4个阶段,涂层的主要防护机制为金属粉的牺牲阳极作用和腐蚀产物的屏蔽效应。     

Bimorph变形镜10.6μm薄膜研究

基于压电驱动器的Bimorph变形镜是10.6 μm系统的一个重要元件.为了镀制薄膜,本文首先利用有限元软件对两种镀膜夹持方式与沉积温度进行了计算,对热应力产生的热变形进行了分析,选择了合适的镀膜夹持方式.为了预测bimorph变形镜受激光辐照后的温升,对单晶硅与石英玻璃制作的bimorph变形镜有限元模型进行了计算与分析.最后,利用光度计对镀制的薄膜进行了反射率测量.试验结果显示反射率测量值大于99.5％,满足实际系统的需要.